[发明专利]一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置

权利要求书

1.一种蚀刻系统放电异常检测方法，其特征在于，所述方法包括：

获取与等离子体腔室连接的匹配器中可变器件的当前阻抗值；

若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取匹配器中可变器件的当前阻抗值，包括：

启动电源，加载射频功率；

采集所述匹配器中各所述可变器件分别对应的当前阻抗值。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常，包括：

比较各所述可变器件的所述当前阻抗值和分别对应的所述预设阈值；

若所述当前阻抗值与所述预设阈值相匹配，则比较匹配的持续时间和对应的所述预设时长；

若所述持续时间不小于所述预设时长，则确认放电异常。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若所述持续时间小于所述预设时长，则确认短暂波动并将记录的匹配的持续时间清零。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，确认放电异常之后，还包括：

降低射频输出功率。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，确认放电异常之后，还包括：

将射频输出功率暂停指定时长。

7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，还包括：

记录放电异常的次数；

若所述放电异常的次数等于预设次数，则终止工艺并对所述放电异常的次数进行清零。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设时长小于1秒。

9.一种蚀刻系统放电异常检测装置，其特征在于，所述装置包括：顺序电连接的电源、匹配器和等离子体腔室；

检测单元，用于获取与等离子体腔室连接的匹配器中可变器件的当前阻抗值；若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述匹配器包括：L型、T型和π型中的一种；所述可变器件包括：电容、电感和电阻中至少一种。