[发明专利]一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置

说明书

本发明实施例提供一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置，该方法包括：获取与等离子体腔室连接的匹配器中可变器件的当前阻抗值；若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常。通过上述方案，有效解决蚀刻系统中的等离子体腔室发生放电异常后，无法及时、准确检测的问题。

技术领域

本发明涉及电子设备技术领域，尤其涉及一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置。

背景技术

在射频通路中，电源的输出端通常接自动匹配器，根据工艺条件的不同，等离子体腔室会有不同的负载，而自动匹配器通过算法调节内部的匹配网络，将电源的输出阻抗调节至50欧姆，使得射频功率实现无反射传输。

在现有技术中，当等离子体状态发生变化时，反射功率会变大，通过射频电源对反射功率或者驻波比进行监控，当反射功率或者驻波比超过某一设定阈值，即抛出报警或者停止输出功率。在等离子体腔室内异常放电时，阻抗会发生变化，匹配器会根据打火之后的阻抗进行自动匹配，此时电源的反射功率和驻波比与未发生打火时基本相同，从而无法对打火进行监控。

基于此，需要一种准确的对蚀刻系统中放电异常检测的技术方案。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种蚀刻系统放电异常检测方法和装置，本发明需要一种准确的对蚀刻系统中放电异常检测的技术方案。

第一方面，本发明实施例提供一种蚀刻系统放电异常检测方法，包括：

获取与等离子体腔室连接的匹配器中可变器件的当前阻抗值；

若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常。

进一步地，所述获取匹配器中可变器件的当前阻抗值，包括：

启动电源，加载射频功率；

采集所述匹配器中各所述可变器件分别对应的当前阻抗值。

进一步地，所述若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常，包括：

比较各所述可变器件的所述当前阻抗值和分别对应的所述预设阈值；

若所述当前阻抗值与所述预设阈值相匹配，则比较相匹配的持续时间和对应的所述预设时长；

若所述持续时间不小于所述预设时长，则确认放电异常。

进一步地，若所述持续时间小于所述预设时长，则确认短暂波动并将记录的匹配的持续时间清零。

进一步地，确认放电异常之后，还包括：降低射频输出功率。

进一步地，确认放电异常之后，还包括：将射频输出功率暂停指定时长。

进一步地，还包括：记录放电异常的次数；若所述放电异常的次数等于预设次数，则终止工艺并对所述放电异常的次数进行清零。

进一步地，所述预设时长小于1秒。

第二方面，本发明实施例提供一种蚀刻系统放电异常检测装置，所述装置包括：

所述装置包括：顺序电连接的电源、匹配器和等离子体腔室；

检测单元，用于获取与等离子体腔室连接的匹配器中可变器件的当前阻抗值；若所述当前阻抗值与预设阈值相匹配，且匹配的持续时间不小于预设时长，则确认放电异常。

进一步地，所述匹配器包括：L型、T型和π型中的一种；所述可变器件包括：电容、电感和电阻中至少一种。