[发明专利]一种硅片清洗水中插篮设备

权利要求书

1.一种硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：包括水槽(1)、移动吸取装置、硅片移动装置和喷嘴(2)，移动吸取装置分别固定安装在水槽(1)的两侧，硅片移动装置可夹持住硅片且往复移动的设置在水槽(1)内，喷嘴(2)位于硅片移动装置下，移动吸取装置包括xyz模组(3)和真空吸盘(4)，真空吸盘(4)设置在xyz模组(3)上且在xyz模组(3)的带动下沿xyz方向移动，真空吸盘(4)将硅片移动装置上清洗好的硅片(15)取下。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：硅片移动装置包括传动装置和片篮支架，片篮支架包括支撑板(5)和移动支架，支撑板(5)位于移动支架中间且支撑板(5)的下端固定设置在水槽(1)内，移动支架通过连接轴(6)与支撑板(5)连接，传动装置与移动支架连接，传动装置带动移动支架沿着连接轴(6)移动，支撑板(5)一侧设置有滚轮(7)，可配合移动支架夹紧硅片(15)。

3.根据权利要求2所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：移动支架包括左连接板(8)和右连接板(9)，两者之间固定设置有导向杆(10)，支撑板(5)上设置有供导向杆(10)穿过的孔，连接轴(6)穿出左连接板(8)和右连接板(9)的两端与轴承支座(11)固定连接。

4.根据权利要求2所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：滚轮(7)通过安装杆固定，且滚轮(7)的转动方向为竖直方向。

5.根据权利要求3所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：滚轮(7)与左连接板(8)或右连接板(9)之间夹持硅片，喷嘴(2)设置在靠近滚轮(7)的一侧的第一片硅片(15)与第二片硅片(15)接触面的下方。

6.根据权利要求3所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：传动装置包括电机(12)、水平传送带(13)和连接块，电机(12)带动水平传送带(13)转动，连接块固定设置在水平传送带(13)上，连接块与左连接板(8)或右连接板(9)固定连接，水平传送带(13)进而带动移动支架沿着连接轴(6)移动。

7.根据权利要求1所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：水槽(1)内且位于片篮支架的两端均设置有收集箱(14)。

8.根据权利要求4所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：滚轮(7)至少为2个。