[发明专利]一种埋入式芯片及其制备方法有效
申请号: | 201811571261.3 | 申请日: | 2018-12-21 |
公开(公告)号: | CN111354645B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 黄立湘;缪桦 | 申请(专利权)人: | 深南电路股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/60;H01L23/49 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 埋入 芯片 及其 制备 方法 | ||
1.一种埋入式芯片的制备方法,其特征在于,包括:
提供包含在电路板内部的芯片本体,其中,所述芯片本体具有引脚焊盘;
对所述电路板进行图案化处理,形成与所述芯片本体的引脚焊盘对应的盲孔,并在所述电路板上形成围绕所述芯片本体的一闭环凹槽;
在所述图案化处理后的电路板上进行金属电镀,以将所述引脚焊盘通过所述盲孔由电镀金属引出,并在所述闭环凹槽处形成导电闭环结构,其中,所述引脚焊盘与所述导电闭环结构通过所述电镀金属导通;
将所述引脚焊盘与所述导电闭环结构断开,并移除所述导电闭环结构,以形成所述芯片本体的芯片引脚。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述芯片本体的数量为至少一个,所述导电闭环结构围绕所述至少一个芯片;
其中,所述至少一个芯片中的每个芯片的引脚焊盘均与所述导电闭环结构通过所述电镀金属导通。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述对所述电路板进行图案化处理的步骤,还包括:
在所述电路板上形成通孔,所述通孔贯穿所述电路板,且位于所述导电闭环结构的范围内;
所述通孔的数量与所述芯片本体的数量相对应,且每个通孔位于与其对应的所述芯片本体与所述导电闭环结构之间。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述电路板包括第一金属层和第二金属层,以及位于所述第一金属层和所述第二金属层之间的填充层;
所述提供包含在电路板内部的芯片本体的步骤,包括:
提供包含在电路板的所述填充层内的芯片本体。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述提供包含在电路板内部的芯片本体的步骤,包括:
在电路板载体上形成所述第一金属层;
在所述第一金属层上粘贴贴片,并在所述贴片上固定所述芯片本体;
在所述芯片本体周围形成包裹所述芯片本体的填充层;
在所述填充层上形成所述第二金属层,并去除所示电路板载体。
6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述提供包含在电路板内部的芯片本体的步骤,包括:
在电路板基体上开设与所述芯片本体对应的凹槽,并将所述电路板基体固定在粘结层上;
利用所述粘结层将所述芯片本体固定在所述凹槽内;
在所述凹槽内进行材料填充,形成包裹所述芯片本体的填充层;
去掉所述粘结层,并在所述填充层的第一表面和第二表面分别形成所述第一金属层和所述第二金属层。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,还包括:
提供与所述芯片引脚相应的导电插件,所述导电插件与所述芯片引脚可拆卸插接。
8.一种埋入式芯片,其特征在于,包括:
电路板,其上设置有盲孔和电镀金属;
芯片本体,位于所述电路板内部,所述芯片本体具有引脚焊盘,所述引脚焊盘通过所述电路板上的盲孔由电镀金属引出,形成芯片引脚;
导电插件,所述导电插件与所述芯片引脚之间可拆卸插接;
其中,所述芯片引脚是通过移除电路板上设置的围绕所述芯片本体的一导电闭环结构而形成的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造