[发明专利]物体检查系统以及物体检查方法

说明书

本发明提供一种物体检查系统以及物体检查方法，当在掩膜图像与检查图像之间产生了偏差的情况下，能够迅速且容易地将掩膜图像与检查图像对准。物体检查系统具备：拍摄部；使第1物体或第2物体与拍摄部相对移动的移动机械；取得移动机械将第1物体或第2物体与拍摄部配置在相对位置时的移动机械的位置数据的位置数据取得部；取得第1物体的第1图像和第2物体的第2图像的图像数据取得部；以及进行第1图像与第2图像的对准的图像对准部，能够检查有无第2物体相对于第1物体的视觉识别的误差。

技术领域

本发明涉及物体检查系统以及物体检查方法。

背景技术

已知对工件等物体的表面进行拍摄来检查该物体的表面的物体检查系统(例如，日本特开2017－015396号公报)。

在物体检查系统中，取得成为基准的物体的掩膜图像，并且取得成为检查对象的物体的检查图像，通过将这两个图像进行比较来检查成为检查对象的物体相对于成为基准的物体有无视觉上的误差。

在该情况下，存在掩膜图像与检查图像之间产生偏差的情况。以往，寻求在产生了这样的偏差的情况下，能够将掩膜图像与检查图像迅速且容易地对准的技术。

发明内容

在本公开的一方式中，物体检查系统具备：拍摄部，其对具有共同的外形的第1物体和第2物体进行拍摄；移动机械，其使第1物体或第2物体与拍摄部相对地移动；位置数据取得部，其取得移动机械将第1物体与拍摄部配置在第1相对位置时的移动机械的第1位置数据，并且取得移动机械将第2物体与拍摄部配置在第2相对位置时的移动机械的第2位置数据；图像数据取得部，其取得在第1相对位置由拍摄部拍摄到的第1物体的第1图像，并且取得在第2相对位置由拍摄部拍摄到的第2物体的第2图像；以及图像对准部，其使用移动机械的移动机械坐标系与拍摄部的拍摄坐标系之间的已知的位置关系、第1位置数据以及第2位置数据，进行拍摄坐标系中的第1图像与第2图像的对准，并且基于进行了对准后的第1图像与第2图像，能够检查有无第2物体相对于第1物体的视觉识别的误差。

在本公开的另一方式中，物体检查方法具备以下步骤：取得通过移动机械将第1物体与拍摄部配置在第1相对位置时的移动机械的第1位置数据；取得在第1相对位置由拍摄部拍摄到的第1物体的第1图像；取得通过移动机械将具有与第1物体共同的外形的第2物体和拍摄部配置在第2相对位置时的移动机械的第2位置数据；取得在第2相对位置由拍摄部拍摄到的第2物体的第2图像；使用移动机械的移动机械坐标系与拍摄部的拍摄坐标系之间的已知的位置关系、第1位置数据以及第2位置数据来进行拍摄坐标系中的第1图像与第2图像的对准；基于进行了对准后的第1图像与第2图像，检查有无第2物体相对于第1物体的视觉识别的误差。

根据本公开的一个方式，假设在掩膜图像与检查图像之间产生了偏差的情况下，能够使用移动机械的位置数据进行这两个图像的对准。由此，能够实现图像的对准作业的简化和快速化。

附图说明

图1是一个实施方式的物体检查系统的图。

图2是物体检查系统的框图。

图3是图1所示的机械手的放大图，是从工具坐标系的y轴正方向观察该机械手的图。

图4用于说明针对物体的工具坐标系的配置。

图5是将图1的拍摄部和物体进行了放大的放大图。

图6表示将第1物体与拍摄部定位在第1基准相对位置时的被检查面中的视场。

图7表示在将第1物体与拍摄部配置在第1基准相对位置时由拍摄部拍摄的掩膜图像的例子。

图8表示将第1物体与拍摄部配置在第n基准相对位置(n＝1～12)时的被检查面中的视场。

图9表示在将第2物体与拍摄部配置在第1检查相对位置时由拍摄部拍摄的检查图像的例子。