[发明专利]等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备

权利要求书

1.一种等离子体喷射装置，用于低温等离子体设备，所述低温等离子体设备包括机架和等离子体发生器，其特征在于，包括：

所述等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；所述输送管竖直设置，所述输送管的上端用于与所述等离子体发生器连接；

所述喷头组件设置在所述输送管的下方，包括连接轴和多个喷头，所述喷头均匀环绕在所述连接轴周围，并与所述连接轴连接；所述喷头与所述输送管的下端可分离连接；

所述喷头切换机构包括固定板，所述固定板水平设置并与所述输送管固定连接；所述固定板上设置有安装孔，所述连接轴与所述安装孔滑动连接，所述连接轴通过弹性件与所述固定板连接；所述弹性件的弹力使得所述喷头组件具有朝上运动的趋势。

2.根据权利要求1所述的等离子体喷射装置，其特征在于：

所述喷头切换机构还包括推动组件和转动组件；所述推动组件包括伸缩杆和壳体，所述壳体与所述输送管固定连接，所述伸缩杆与所述壳体滑动连接；所述伸缩杆的自由端与所述连接轴连接；

所述转动组件与所述固定板连接，并与所述连接轴传动连接，用于驱动所述连接轴转动。

3.根据权利要求2所述的等离子体喷射装置，其特征在于：

所述壳体为缸体，所述伸缩杆为活塞杆；所述缸体竖直设置。

4.根据权利要求3所述的等离子体喷射装置，其特征在于：

所述转动组件包括电机、主动齿轮和被动齿轮，所述电机与所述固定板连接；所述主动齿轮与所述电机的输出轴传动连接，所述被动齿轮套设在所述连接轴上；所述主动齿轮与所述被动齿轮啮合；

所述被动齿轮的齿宽大于所述主动齿轮的齿宽。

5.根据权利要求4所述的等离子体喷射装置，其特征在于：

还包括控制器和位置传感器，所述位置传感器与所述缸体连接，用于检测所述活塞杆的位置；所述控制器与所述位置传感器和所述电机电连接。

6.根据权利要求4所述的等离子体喷射装置，其特征在于：

还包括定位机构，所述定位机构包括定位盘、定位销、导向筒和电磁铁；

所述定位盘水平设置，并套设在所述连接轴上，所述定位盘上均匀设置有多个定位孔，所述定位孔均匀围绕所述连接轴分布，所述定位孔的数量与所述喷头的数量相等；

所述定位销竖直设置在所述定位孔的上方或下方，并通过所述导向筒与所述机架滑动连接，并包括第一极限位置和第二极限位置；所述定位销与所述导向筒之间还设置有弹簧；所述电磁铁通电时，所述定位销被吸合，使得所述定位销位于第一极限位置，所述电磁铁断电时，所述定位销在所述弹簧的作用下能够运动至第二极限位置；

所述定位销位于第一极限位置时，所述定位销与所述定位孔分离，所述定位销位于第二极限位置时，所述定位销伸入到所述定位孔中；

所述转动组件还包括带传动组件，所述主动齿轮通过带传动组件与所述电机连接。

7.根据权利要求6所述的等离子体喷射装置，其特征在于：

所述多个定位孔所在的圆周半径小于所述多个喷头所述在的圆周半径；所述定位孔为锥形孔，所述定位销包括尖端。

8.根据权利要求1所述的等离子体喷射装置，其特征在于：所述喷头包括圆锥形的连接孔，所述输送管包括圆锥状的连接端；所述连接端的外表面设置有密封条，所述连接孔与所述连接端配合。

9.一种喷头切换方法，其特征在于，采用了权利要求1-8任一项所述的等离子体喷射装置，包括以下步骤：

a.对每个喷头进行编号，并将每个编号对应的喷头信息储存在控制器中；

b.当需要更换喷头时，先计算需要更换的喷头转动至工位时，连接轴需要转动的角度；

c.启动电机驱动连接轴，当连接轴转动预设角度后，将连接轴锁定；

d.将喷头组件向上拉动，使得工位上的喷头与输送管连接。

10.一种低温等离子体设备，其特征在于，包括：

柜体、等离子体发生器以及权利要求1至8任一项所述的等离子体喷射装置；所述等离子体发生器与所述柜体连接，所述输送管竖直设置，所述输送管的上端与所述等离子体发生器连接；其中一个喷头与所述输送管连接。