[发明专利]等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备

说明书

本发明提供了一种等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备，属于低温等离子体技术领域。等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；输送管的上端用于与等离子体发生器连接；喷头组件包括多个喷头和连接轴，喷头均匀环绕在连接轴周围，并与连接轴连接。喷头与输送管的下端可分离连接；喷头切换机构包括固定板，固定板水平设置并与输送管固定连接；固定板上设置有安装孔，连接轴与安装孔滑动连接，连接轴通过弹性件与输送管或固定板连接。上述等离子体喷射装置在更换喷头时，操作简单方便并且效率较高。另外，由于多个喷头连接为一个整体，因此，在更换喷头后，被换下的喷头不易丢失。

技术领域

本发明涉及低温等离子体技术领域，具体而言，涉及一种等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备。

背景技术

低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体设备是指利用低温等离子体来对工件的表面进行处理或雾化镀膜的设备。处理不同的工件或对同一个工件的不同区域进行处理通常需要更换喷头，例如，常用的喷头有直管喷头、拉瓦尔喷头、狭缝喷头及细管喷头。

现有的低温等离子体设备在更换喷头时，一般需要采用专用工具将喷头拆下，然后将另外的喷头装上。整个更换过程比较繁琐，效率偏低。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种等离子体喷射装置，其更换喷头比较方便。

本发明的另一目的在于提供一种低温等离子体设备，其采用了上述等离子体喷射装置。

本发明的另一目的在于提供一种喷头切换方法，其采用了上述等离子体喷射装置。

本发明是这样实现的：

一种等离子体喷射装置，用于低温等离子体设备，所述低温等离子体设备包括等离子体发生器，包括：

所述等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；所述输送管的上端用于与所述等离子体发生器连接；

所述喷头组件设置在所述输送管的下方，包括多个喷头和连接轴，所述喷头均匀环绕在所述连接轴周围，并与所述连接轴连接；所述喷头与所述输送管的下端可分离连接；

所述喷头切换机构包括固定板，所述固定板水平设置并与所述输送管固定连接；所述固定板上设置有安装孔，所述连接轴与所述安装孔滑动连接，所述连接轴通过弹性件与所述输送管或所述固定板连接；所述弹性件的弹力使得所述喷头组件具有朝上运动的趋势。

进一步，

所述喷头切换机构还包括推动组件和转动组件；所述推动组件包括伸缩杆和壳体，所述壳体与所述输送管固定连接，所述伸缩杆与所述壳体滑动连接；所述伸缩杆的自由端与所述连接轴连接；

所述转动组件与所述固定板连接，并与所述连接轴传动连接，用于驱动所述连接轴转动。

进一步，

所述壳体为缸体，所述伸缩杆为活塞杆；所述缸体竖直设置。

进一步，

所述转动组件包括电机、主动齿轮和被动齿轮，所述电机与所述固定板连接；所述主动齿轮与所述电机的输出轴连接，所述被动齿轮套设在所述连接轴上；所述主动齿轮与所述被动齿轮啮合；

所述被动齿轮的齿宽大于所述主动齿轮的齿宽。

进一步，

还包括控制器和传感器，所述传感器与所述缸体连接，用于检测所述活塞杆的位置；所述控制器与所述传感器和所述电机电连接。

进一步，

所述控制器为PLC或单片机。