[发明专利]线宽标准样片及线宽标准样片中标准线条的循迹方法

权利要求书

1.一种线宽标准样片，其特征在于，包括：样片底片、指示标记及多组不同标称值的标准线条；

所述指示标记及所述多组不同标称值的标准线条绘制于所述样片底片上；

所述指示标记用于指示所述标准线条在所述样片底片中的位置；

所述指示标记包括：用于指示所述标准线条所在区域的循迹箭头、用于在不同放大倍数下对所述标准线条所在区域进行定位的定位标记和用于对标准线条进行精准定位的指示标尺；

所述循迹箭头用于在第一预设放大倍数下标示标准线条的方向；所述定位标记绘制于所述循迹箭头所指的预设方向，且用于在第二预设放大倍数下标示标准线条的位置；所述第二预设放大倍数大于所述第一预设放大倍数。

2.如权利要求1所述的线宽标准样片，其特征在于，所述循迹箭头包括多组从不同方向指向所述标准线条所在区域的箭头。

3.如权利要求1所述的线宽标准样片，其特征在于，所述指示标尺绘制于所述定位标记的预设方向，所述指示标尺的不同坐标对应指向不同标称值的标准线条。

4.一种线宽标准样片中标准线条的循迹方法，其特征在于，所述线宽标准样片具有如权利要求1至3任一项所述的结构，所述方法包括：

在所述线宽标准样片中查找循迹箭头；

根据所述循迹箭头指示的预设方向，查找定位标记，所述预设方向为所述循迹箭头指示的标准线条所在区域的方向；

根据所述定位标记，延着所述预设方向移动直至观察到指示标尺；

根据所述指示标尺和预设标尺-线条对应关系，查找待寻标准线条。

5.如权利要求4所述的线宽标准样片中标准线条的循迹方法，其特征在于，所述在所述线宽标准样片中查找循迹箭头，包括：

在显微镜第一预设放大倍数的视场下，查找所述线宽标准样片中的循迹箭头。

6.如权利要求4所述的线宽标准样片中标准线条的循迹方法，其特征在于，所述根据所述循迹箭头指示的标准线条所在区域的预设方向，查找定位标记，包括：

根据所述循迹箭头指示的标准线条所在区域的预设方向，将显微镜的视场中心延着所述预设方向移动至所述标准线条所在区域，并将所述显微镜的放大倍数增大至第二预设放大倍数；

在所述第二预设放大倍数的视场下，根据所述循迹箭头的预设方向查找定位标记，并将查找到的所述定位标记移动至所述显微镜的视场中心。

7.如权利要求4所述的线宽标准样片中标准线条的循迹方法，其特征在于，所述根据所述指示标尺和预设标尺-线条对应关系，查找待寻标准线条，包括：

根据所述指示标尺和预设标尺-线条对应关系，查找第一坐标在线宽标准样片中的位置，所述第一坐标为所述待寻标准线条在所述指示标尺中对应的坐标；

将显微镜的放大倍数增大至第三预设放大倍数；

在所述第三预设放大倍数的视场下，延着所述预设方向移动直至观察到所述待寻标准线条。

8.如权利要求4所述的线宽标准样片中标准线条的循迹方法，其特征在于，在所述根据所述指示标尺和预设标尺-线条对应关系，查找第一坐标在线宽标准样片中的位置之后，还包括：

将显微镜的视场中心移动至所述第一坐标在所述线宽标准样片中的位置。