[发明专利]粉末供给装置及镀覆系统

权利要求书

1.一种粉末供给装置，将包含镀覆中使用的金属的粉末向镀覆液供给，所述粉末供给装置的特征在于，具有：

构成为收纳镀覆液的镀覆液箱；

用于向所述镀覆液箱内投入所述粉末的投入配管；

用于供给气体的气体供给管路；和

构成为接收来自所述气体供给管路的气体、并在所述投入配管的内部生成朝向所述镀覆液箱的螺旋气流的螺旋气流生成部件。

2.如权利要求1所述的粉末供给装置，其特征在于，

所述螺旋气流生成部件具有筒状部件，该筒状部件具有以与所述投入配管的内表面接触的方式构成的外表面，

所述筒状部件具有所述镀覆液箱侧的第1端部、和与所述第1端部相反的一侧的第2端部，在所述外表面上具有从所述第1端部朝向所述第2端部延伸的槽，

所述粉末供给装置构成为来自所述气体供给管路的气体从所述筒状部件的所述槽通过。

3.如权利要求2所述的粉末供给装置，其特征在于，

所述槽以相对于所述筒状部件的轴向倾斜的方式形成。

4.如权利要求2所述的粉末供给装置，其特征在于，

所述螺旋气流生成部件还具有沿周向延伸且与所述槽连通的空气流路、和与所述气体供给管路连接且与所述空气流路连通的空气注入口。

5.如权利要求1所述的粉末供给装置，其特征在于，

所述投入配管具有供所述粉末投入的入口开口端部、和供所述粉末排出的出口开口端部，

所述螺旋气流生成部件设在所述投入配管的所述入口开口端部。

6.如权利要求1所述的粉末供给装置，其特征在于，具有：

构成为收纳所述粉末的料斗；和

构成为从设在所述料斗的下部的开口朝向所述投入配管供给所述粉末的送料器。

7.一种镀覆系统，其特征在于，具有：

权利要求1至6中任一项所述的粉末供给装置；

用于对基板进行镀覆的镀覆槽；和

从所述粉末供给装置的所述镀覆液箱向所述镀覆槽延伸的镀覆液供给管。