[发明专利]复合型SEM-CL和FIB-IOE显微术在审

专利信息
申请号: 201811586279.0 申请日: 2018-12-24
公开(公告)号: CN109979793A 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: M.马祖兹;G.格莱德修;G.布德尼克;J.菲勒维茨 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: H01J37/26 分类号: H01J37/26;H01J37/22
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张凌苗;申屠伟进
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 显微术 光子 显微术系统 过程产生 离子诱导 模式操作 样本位置 阴极发光 样本 电子束 电子显微镜 聚焦离子束 显微镜系统 电子发射 发光过程 复合扫描 光学发射 光子发射 离子束 激发
【权利要求书】:

1.一种系统,其包含:

离子束源,其配置成沿离子束轴在样本位置处产生并聚焦离子束;

电子束源,其配置成沿电子束轴在所述样本位置处产生并聚焦电子束;以及

反射器,其定位于所述样本与所述离子束源和所述电子束源之间,所述反射器进一步成形为接收在所述样本位置处的样本发射的光,所述光由所述样本与所述离子束或所述电子束之间的相互作用产生,所述反射器进一步成形为将所述光反射到光检测系统。

2.根据权利要求1所述的系统,其中所述反射器包含抛物线形状的镜面。

3.根据权利要求1所述的系统,其中所述反射器包含椭圆形状的镜面。

4.根据权利要求3所述的系统,其中所述光检测系统包含光纤线缆,所述光纤线缆具有输入端和输出端,所述输出端光学耦合至真空系统内部或外部的光电探测器,并且其中所述椭圆形状的镜面配置成聚焦从所述样本发射到所述光纤线缆的所述输入端的光。

5.根据权利要求1所述的系统,其进一步包含移动载台,所述移动载台耦合至所述反射器并且配置成相对于所述样本位置并且相对于所述电子束轴和所述离子束轴移动所述反射器。

6.根据权利要求1所述的系统,其中所述反射器包括第一孔,所述第一孔定位成允许所述电子束进入所述反射器的内部;和第二孔,所述第二孔定位成允许所述离子束进入所述反射器的内部。

7.根据权利要求6所述的系统,其中所述第一孔和所述第二孔是开槽孔。

8.根据权利要求1所述的系统,其中所述反射器包括孔,所述孔定位成允许所述电子束进入在第一反射器位置的所述反射器的内部,并且允许所述离子束进入在第二反射器位置的所述反射器的内部。

9.根据权利要求8所述的系统,其中所述反射器和所述样本耦合至可控载台,所述可控载台配置成将所述反射器移动至所述第一反射器位置中和所述第二反射器位置中。

10.根据权利要求1所述的系统,其进一步包含位于所述反射器附近的转向电极,以便基于所述样本与所述离子束或所述电子束之间的相互作用来引导从所述样本发射的二次带电粒子。

11.根据权利要求10所述的系统,其进一步包含二次带电粒子探测器,所述二次带电粒子探测器设置成接收从所述样本发射并且由所述转向电极引导的所述二次带电粒子。

12.根据权利要求1所述的系统,其进一步包含:

光束源,其配置成沿着光子束轴在所述样本位置处产生并聚焦光子束,并且其中所述反射器进一步定位和配置成接收由所述样本位置处的样本发射的光,所述光由所述样本与所述光子束之间的相互作用产生,所述反射器进一步成形为将所述光反射到光检测系统。

13.根据权利要求12所述的系统,其中从所述样本发射的所述光对应于拉曼发射。

14.根据权利要求12所述的系统,其中从所述样本发射的所述光对应于拉曼散射。

15.一种方法,其包含:

以第一显微术模式操作显微术系统,其中电子束与样本位置处的样本相互作用并且引起第一模式光子和电子发射,所述第一模式光子包括通过阴极发光过程产生的光子;以及

以第二显微术模式操作所述显微术系统,其中离子束与所述样本位置处的样本相互作用并且引起第二模式光子发射,所述第二模式光子包括通过离子诱导发光过程产生的光子和/或通过原子去激发过程产生的光子。

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