[发明专利]复合型SEM-CL和FIB-IOE显微术

说明书

复合型SEM‑CL和FIB‑IOE显微术。本文公开了使用复合扫描电子显微镜‑阴极发光(SEM‑CL)显微术和聚焦离子束‑离子诱导光学发射(FIB‑IOE)显微术的显微镜系统进行显微术的示例性实施例。某些实施例包含：以第一显微术模式操作显微术系统，其中电子束在样本位置处与样本相互作用并且引起第一模式光子和电子发射，所述第一模式光子包括通过阴极发光过程产生的光子；以及，以第二显微术模式操作显微术系统，其中离子束与在所述样本位置处的样本相互作用并且引起第二模式光子发射，所述第二模式光子包括通过离子诱导发光过程产生的光子以及通过原子去激发过程产生的光子。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年12月27日提交的名称为“《复合型SEM-CL和FIB-IOE显微镜(COMBINED SEM-CL AND FIB-IOE MICROSCOPY)》”的美国临时申请第62/610,886号以及于2017年12月27日提交的名称为“《用于在基于镜子的光成像带电粒子显微镜中增强SE检测的方法和装置(METHOD AND APPARATUS FOR ENHANCING SE DETECTION IN MIRROR-BASEDLIGHT IMAGING CHARGED PARTICLE MICROSCOPES)》”美国临时申请第62/610,822号的权益，上述两个专利的全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本申请涉及复合扫描电子显微镜-阴极发光(SEM-CL)显微术和聚焦离子束-离子诱导光学发射(FIB-IOE)显微术的显微镜系统。

背景技术

扫描电子显微镜-阴极发光(SEM-CL)显微术是一种提供有关微量元素信息和固体中机械诱导缺陷信息的技术。除了其它方面，SEM-CL可以用于提供对晶体生长和固体变形的基本洞察。然而，SEM-CL受其空间分辨率和缺乏元素分析能力的限制。因此，需要克服这些缺点的改进型SEM-CL。

发明内容

本文公开了使用扫描电子显微镜-阴极发光(SEM-CL)显微镜和聚焦离子束-离子诱导光学发射(FIB-IOE)显微镜两者进行显微术的方法、装置和系统的代表性实施例。所公开的方法、装置和系统不应被解释为以任何方式进行限制。相反，本公开涉及各种公开的实施例的所有新颖和/或非显而易见的特征和方面，单独地或者以不同组合和彼此之间的子组合使用。