[发明专利]双玻IV测试组件防塌腰随动系统有效
申请号: | 201811586941.2 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109659268B | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 石磊;宋爱军;陈攀峰 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677;H01L21/66 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 赵俊宏 |
地址: | 066000 河北省秦*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双玻 iv 测试 组件 防塌腰随动 系统 | ||
1.一种双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:包括支架(70)、导向装置(10)、升降装置(20)、抓取装置(30)以及归位动力装置(50);导向装置(10)包括固接在支架(70)上的滑轨(11)以及与滑轨(11)滑动连接的随动滑块(12),滑轨(11)沿太阳能电池组件(83)的移动方向设置;升降装置(20)通过随动滑块(12)与滑轨(11)滑动连接;抓取装置(30)包括真空吸盘(31)以及与真空吸盘(31)连通的真空发生器(33),真空吸盘(31)设置在随动滑块(12)的下方且真空吸盘(31)的开口朝下设置,真空吸盘(31)与升降装置(20)的输出端固定连接;归位动力装置(50)驱动随动滑块(12)滑动从而带动抓取装置(30)往复移动。
2.根据权利要求1所述的双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:抓取装置(30)还包括与升降装置(20)的输出端固接的吸盘固定板(32),真空吸盘(31)设置有四个且均固接在吸盘固定板(32)上。
3.根据权利要求1所述的双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:归位动力装置(50)为电动伺服缸。
4.根据权利要求1所述的双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:归位动力装置(50)的输出端与随动滑块(12)通过归位顶杆(60)连接,归位动力装置(50)输出端与归位顶杆(60)的一端通过连接座(61)固接,归位动力装置(50)与随动滑块(12)位于连接座(61)的同一侧。
5.根据权利要求4所述的双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:连接座(61)上固接有支撑滑块(13),所述支撑滑块(13)与滑轨(11)滑动连接。
6.根据权利要求5所述的双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:滑轨(11)的两端分别固接有限位块(111),当随动滑块(12)与相邻的限位块(111)接触时,随动滑块(12)位于初始位置;当支撑滑块(13)与相邻的限位滑块接触时,被抓取装置(30)吸附的太阳能电池组件(83)位于检测工位的正上方。
7.根据权利要求1所述的双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:随动滑块(12)与升降装置(20)之间设置有调节装置(40),调节装置(40)包括与随动滑块(12)固接的连接板(41)以及与升降装置(20)固接的承接板(42),承接板(42)和连接板(41)通过螺栓连接,承接板(42)上开有长孔(43),所述螺栓从长孔(43)处穿透承接板(42)并螺纹连接在连接板(41)上,所述长孔(43)的长度方向与抓取升降装置(20)的升降方向平行。
8.根据权利要求1所述的双玻IV测试组件防塌腰随动系统,其特征在于:真空发生器(33)和真空吸盘(31)通过连接管(34)连通,所述连接管(34)上设置有流量控制器(35)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造