[发明专利]一种高精度金属掩膜板及其制造方法

权利要求书

1.一种高精度金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；

所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；

所述遮挡条设置于支撑条上，所述支撑条用于支撑遮挡条，所述遮挡条包括遮挡部和连接部，所述遮挡部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部的槽口朝上设置，所述连接部焊接于安装框架上；

所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与其相邻的遮挡部的对应侧壁扣接，掩膜部的两内侧壁分别与其对应的遮挡部的侧壁紧密贴合，所述焊接部用于安装框架焊接固定。

2.根据权利要求1所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述安装框架与遮挡条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述遮挡条的连接部由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。

3.根据权利要求1或2所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述安装框架与支撑条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述支撑条的两端分别由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。

4.根据权利要求3所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3，且d3＝d2。

5.根据权利要求1所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜条、遮挡条以及支撑条与安装框架之间通过激光焊接固定。

6.一种高精度金属掩膜板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：

提供一形成有蒸镀区的安装框架；

在安装框架上焊接支撑条；

在支撑条上设置遮挡条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d1的遮挡部槽口朝上，并通过遮挡部两端的连接部与安装框架焊接；

在遮挡条上设置掩膜条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d2掩膜部槽口朝下，且d2＞d1，并通过掩膜部两端的焊接部与安装框架焊接，将掩膜部跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，使得掩膜部的两侧壁分别与其相邻的遮挡部的对应侧壁扣接；掩膜部的两内侧壁分别与其相对应的遮挡部的侧壁紧密贴合；其中，所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条。

7.根据权利要求6所述的高精度金属掩膜板的制造方法，其特征在于，所述“在支撑条上设置遮挡条”步骤之前还包括：

沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d1，并沿弯折线裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成遮挡条。

8.根据权利要求6所述的高精度金属掩膜板的制造方法，其特征在于，所述“在遮挡条上设置掩膜条”之前还包括：

沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d2，并沿弯折线裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成掩膜条。

9.根据权利要求6所述的高精度金属掩膜板的制造方法，其特征在于，“在安装框架上焊接支撑条”具体是：将支撑条的两端由下向上穿过卡环，并向外拉伸支撑条的两端使其张紧后焊接于安装框架上；“并通过遮挡部两端连接部与安装框架焊接”具体是：将遮挡条的两端的连接部由下向上穿过卡环，并向外拉伸连接部使其张紧后焊接于安装框架上。

10.根据权利要求9所述的高精度金属掩膜板的制造方法，其特征在于，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3与掩膜部的槽深d2相同。