[发明专利]一种高精度金属掩膜板及其制造方法

说明书

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种高精度金属掩膜板及其制造方法，其中所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；遮挡条设置于支撑条上，遮挡条包括遮挡部和连接部，遮挡部呈“凵”形槽体结构，遮挡部的槽口朝上设置，连接部焊接于安装框架上；掩膜条包括掩膜部和焊接部，掩膜部呈“凵”形槽体结构，掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。在本方案中，遮挡板与掩膜条设置扣接结构贴合紧密，能够提高产品蒸镀良率，降低生产成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种高精度金属掩膜板及其制造方法。

背景技术

AMOLED目前较为成熟的制备工艺是有机真空蒸镀工艺，有机真空蒸镀工艺中较为重要的一项工艺是FMM工艺。利用金属掩膜板进行蒸镀区域定义，制作有机膜层。FMM工艺较为重要的一点是掩膜条和遮挡条需紧密贴合，以防止有机蒸汽从缝隙内渗入，造成混色。

目前FM在掩膜板的制造过程中掩膜条和遮挡条均是通过先拉伸张紧后，然后在安装框架上进行焊接，以其本身较高的平行度使掩膜条和遮挡板紧密贴合。一般情况下，在制造高精金属掩膜板时先进行遮挡条的焊接，然后在遮挡条的上方焊接支撑条，最后在支撑条的上方焊接掩膜条，以此保证FMM焊接后整体的平整度。由于支撑条与掩膜条自身刚性不足，在使用过程中支撑条以及掩膜条容易形成塌陷，若支撑条或掩膜条张紧度或平整度异常，则二者贴合处会出现缝隙，有机蒸汽会从缝隙处散逸出来，造成混色异常，导致产品良率下降，生产成本明显增加。

发明内容

为此，需要提供一种高精度金属掩膜板及其制造方法，来解决现有技术中掩膜板的支撑条以及掩膜条连接处容易形成塌陷，二者贴合处容易出现缝隙，有机蒸汽会从缝隙处散逸出来，造成混色异常，导致产品良率下降，生产成本高的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种高精度金属掩膜板，所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；

所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；

所述遮挡条设置于支撑条上，所述支撑条用于支撑遮挡条，所述遮挡条包括遮挡部和连接部，所述遮挡部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部的槽口朝上设置，所述连接部焊接于安装框架上；

所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。

作为本发明的一种优选结构，所述安装框架与遮挡条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述遮挡条的连接部由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。

作为本发明的一种优选结构，所述安装框架与支撑条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述支撑条的两端分别由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。

作为本发明的一种优选结构，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3，且d3＝d2。

作为本发明的一种优选结构，所述掩膜条、遮挡条以及支撑条与安装框架之间通过激光焊接固定。

进一步的，发明人还提供了一种高精度金属掩膜板的制造方法，所述制造方法包括以下步骤：

提供一形成有蒸镀区的安装框架；

在安装框架上焊接支撑条；

在支撑条上设置遮挡条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d1的遮挡部槽口朝上，并通过遮挡部两端的连接部与安装框架焊接；