[发明专利]一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统在审
| 申请号： | 201811591621.6 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109612377A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐义;荆鸣翔 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁式检测装置 磁场 磁场强度传感器 检测 传输装置 电磁线圈 镀膜系统 载具 传送 磁场强度信号 检测技术领域 被检测部件 传输方向 传输路径 传统手段 大小确定 镀膜腔室 涉及设备 位置信号 物体穿过 信号稳定 导磁性 监测 传感器 处理器 粉尘 承载 穿过 运送 维护 | ||
1.一种电磁式检测装置，其特征在于，包括：
载具(3)，用于承载被传送物体；所述载具具有导磁性；
传输装置(2)，其在传输方向运送所述载具(3)；
电磁线圈(51)，其设置在所述传输装置(2)的传输路径上，并可供所述载具(3)和所述被传送物体穿过；
磁场强度传感器(61)，用于检测所述载具(3)穿过电磁线圈(51)时产生的磁场强度；
处理器(62)，与所述磁场强度传感器(61)连接，用于根据所述磁场强度传感器(61)检测到的磁场强度的大小确定所述载具(3)的位置信息。
2.根据权利要求1所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述电磁线圈(51)由一根线材螺旋盘绕而成，且所述线材的两端分别与直流电源(52)连接。
3.根据权利要求2所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述电磁线圈的中部设有传送通道，所述传送通道的方向与所述传输装置的传输方向一致，用于供所述载具(3)和所述被传送物体穿过。
4.根据权利要求2所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述磁场强度传感器为磁通量传感器。
5.根据权利要求2所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述载具(3)中设有导磁材料，且所述载具(3)在沿所述载具(3)的传输方向上的不同的位置处的导磁性能不同。
6.根据权利要求5所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述载具(3)包括：
纵梁，所述纵梁的长度方向平行于所述载具的传输方向，且所述纵梁的数量为多根，多根所述纵梁沿垂直于所述载具的传输方向的方向间隔设置；
横梁，所述横梁垂直于所述纵梁连接在多根所述纵梁之间，且所述导磁材料设于所述横梁内。
7.根据权利要求6所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述横梁的数量为多根，多根所述横梁沿所述载具的传输方向间隔设置，各根所述横梁内的导磁材料相同。
8.根据权利要求7所述的电磁式检测装置，其特征在于，各根所述横量内的导磁材料的重量不同。
9.一种镀膜系统，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的电磁式检测装置。
10.一种采用权利要求1-8中任一项所述的电磁式检测装置的检测方法，其特征在于，包括：
接收所述磁场强度传感器检测的磁场强度信息；
根据预先存储的磁场强度信息与载具的位置信息的关系，确定所述载具的实时位置信息。
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