[发明专利]一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统

说明书

本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。其中，电磁式检测装置包括，用于承载被传送物体并具有导磁性的载具；在传输方向运送所述载具的传输装置；设置在所述传输装置的传输路径上的电磁线圈，并可供载具和所述被传送物体穿过；用于检测所述载具穿过电磁线圈时产生磁场强度的传感器；与磁场强度传感器连接的处理器，其用于根据所述磁场强度传感器检测到的磁场强度的大小确定所述载具的位置信息。采用磁场强度信号的方式来监测被检测部件的位置信号，相比较传统手段非常难被损坏，磁场强度式监测不易受镀膜腔室大量粉尘的影响，信号稳定，维护简单。

技术领域

本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。

背景技术

CIGS太阳能电池薄膜，由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶太阳能电池薄膜，其可采用共蒸发系统进行进行制备。其具有光吸收能力强，发电稳定性好、转化效率高，白天发电时间长、发电量高、生产成本低以及能源回收周期短等优点。

现有的CIGS镀膜系统一般采用交替溅射的方法或者共蒸发法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。在镀膜系统中为了获取待镀膜件(玻璃)的位置，现有技术中会采用光电传感器进行检测。而现有的光电传感器组件通过石英棒传输光电信号，其存在以下缺陷：

1.石英棒在镀膜腔室内容易受杂质干扰，杂质附着在石英棒表面容易干扰对射信号，随着生产进行，石英棒末端逐渐被CIGS粉尘附着，透光率下降，造成信号不稳定甚至信号异常；

2.光电信号在镀膜环境的影响，需要定期清理发生装置；

3.石英结构容易受损，破碎后需要更换，产生大量备件。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中光电传感器组件的缺陷，从而提供电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

本发明提供了一种电磁式检测装置，包括：

载具，用于承载被传送物体；所述载具具有导磁性；

传输装置，其在传输方向运送所述载具；

电磁线圈，其设置在所述传输装置的传输路径上，并可供所述载具和所述被传送物体穿过；

磁场强度传感器，用于检测所述载具穿过电磁线圈时产生的磁场强度；

处理器，与所述磁场强度传感器连接，用于根据所述磁场强度传感器检测到的磁场强度的大小确定所述载具的位置信息。

上述电磁式检测装置中，所述电磁线圈由一根线材螺旋盘绕而成，且所述线材的两端分别与直流电源连接。

上述电磁式检测装置中，所述电磁线圈的中部设有传送通道，所述传送通道的方向与所述传输装置的传输方向一致，用于供所述载具和所述被传送物体穿过。

上述电磁式检测装置中，所述磁场强度传感器为磁通量传感器。

上述电磁式检测装置中，所述载具中设有导磁材料，且所述载具在沿所述载具的传输方向上的不同的位置处的导磁性能不同。

上述电磁式检测装置中，所述载具包括：

纵梁，所述纵梁的长度方向平行于所述载具的传输方向，且所述纵梁的数量为多根，多根所述纵梁沿垂直于所述载具的传输方向的方向间隔设置；

横梁，所述横梁垂直于所述纵梁连接在多根所述纵梁之间，且所述导磁材料设于所述横梁内。