[发明专利]一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法

权利要求书

1.一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置的校准方法，其特征在于：所述真空校准装置包括真空泵组（1）、真空舱、真空计（3）、集气瓶（4）、减压阀（5）及调节阀；

所述真空舱分别为真空舱二（22）、真空舱三（23）、真空舱四（24）和用于校准的真空舱一（21）；

真空泵组（1）分别与真空舱一（21）和真空舱二（22）连接，真空舱二（22）和真空舱四（24）之间布置有与二者连通的真空舱三（23），真空舱一（21）、真空舱二（22）、真空舱三（23）和真空舱四（24）串接在一起，真空舱一（21）、真空舱二（22）和真空舱三（23）上分别安装有一个真空计（3）；

调节阀分别为调节阀一（K1）、调节阀二（K2）、调节阀三（K3）、调节阀四（K4）、调节阀五（K5）、调节阀六（K6）、调节阀七（K7）、调节阀八（K8）、调节阀九（K9）和调节阀十（K10）；

真空舱三（23）与集气瓶（4）连接且二者连接的管路上安装有减压阀（5）、调节阀八（K8）和调节阀九（K9）；真空舱三（23）和集气瓶（4）经调节阀八（K8）与大气相同；真空舱一（21）上设置有调节阀二（K2）；

真空泵组（1）与真空舱一（21）之间、真空舱一（21）与真空舱二（22）之间、真空舱二（22）与真空舱三（23）之间、真空舱三（23）与真空舱四（24）之间分别设置有调节阀一（K1）、调节阀四（K4）、调节阀六（K6）和调节阀七（K7）；真空舱一（21）与真空舱二（22）之间设置有调节阀三（K3）和调节阀十（K10），被测传感器（8）与真空舱二（22）之间设置有调节阀五（K5）；被测传感器（8）和三个真空计（3）的信号输出端分别与显示面板的信号输入端连接；

所述校准方法包括以下步骤：

步骤一：关闭调节阀二（K2）、调节阀八（K8）、调节阀九（K9），其余调节阀处于打开状态，形成封闭的密封腔，然后打开真空泵组（1），对该密封腔进行抽真空，经过真空泵组（1）抽真空后，密封腔内的压力为0Pa；

步骤二：判断密封腔内的压力是否为0Pa，同时检验标准三个真空计（3），确保该三个标准的真空计（3）的示数一致且稳定；当未达到预期压力时，继续用真空泵组（1）进行抽真空，直至满足要求；

步骤三：待上一步骤满足要求后，关闭调节阀一（K1）、调节阀三（K3）和调节阀四（K4），检验被测传感器（8）的示数，是否满足产品的性能指标；当不满足时，首先排除是否为被测传感器（8）本身的问题，当不是被测传感器（8）本身问题时，重新开始步骤一，直到本步骤中的被测传感器（8）满足其性能指标的要求；

步骤四：关闭调节阀六（K6）和调节阀七（K7），打开调节阀八（K8），使真空舱三（23）内充满大气，其压力值为大气压力101350Pa， 检验与该真空舱三（23）连接的标准的真空计（3）的示数是否为当地大气压；

步骤五：当步骤四中标准的真空计（3）的示数稳定在当地大气压时，关闭调节阀八（K8），打开调节阀七（K7），则1升气体充满1升的真空舱三（23）和9升的真空舱四（24）；根据波义尔-马略特定律，则由1升的真空舱三（23）和9升的真空舱四（24）组成的子系统中的压力值为当地大气压力的1/10；检验此时连接的标准的真空计（3）的示数，是否为步骤四中示数的1/10；

步骤六：待上述标准的真空计（3）的示数稳定后，打开调节阀六（K6），关闭调节阀七（K7），1升中的气体充满真空舱三（23）和真空舱二（22）；此时，由真空舱三（23）和真空舱二（22）组成的子系统中的压力值为当地大气压力的1/1000，即101.350Pa；检验此时两个标准的真空计（3）的示数，是否为步骤四中示数的1/1000；

步骤七：待两个标准的真空计（3）的示数稳定后，采集被测传感器（8）的示数，并判断是否出现失效，至此，被测传感器（8）的一个加压循环完成，然后除50升的真空舱一（21）外，将整个装置进行通大气，进行下一次的加压循环，所述真空计（3）为电容式薄膜真空计。

2.根据权利要求1所述一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置的校准方法，其特征在于：所述调节阀为金属调节阀。

3.根据权利要求2所述一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置的校准方法，其特征在于：所述真空舱二（22）、真空舱三（23）和真空舱四（24）的体积总和至少是气路管总体积的20倍。

4.根据权利要求3所述一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置的校准方法，其特征在于：所述真空泵组（1）主要由若干个分子泵和罗茨泵串联组成。