[发明专利]一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法

说明书

一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法，它涉及真空压力传感器测量技术领域，它包括真空泵组、真空舱、真空计、集气瓶、减压阀及调节阀；真空舱二和真空舱四之间布置有与二者连通的真空舱三，真空舱一、真空舱二和真空舱三上分别安装有一个真空计；真空舱三与集气瓶连接且二者连接的管路上安装有减压阀、调节阀八和调节阀九；真空泵组与真空舱一之间、真空舱一与真空舱二之间、真空舱二与真空舱三之间、真空舱三与真空舱四之间分别设置有调节阀一、调节阀四、调节阀六和调节阀七。校准方法包括：一、抽真空；二、被测传感器加压循环测试。本发明用以对传感器进行加速寿命试验，能实现提高传感器可靠性和稳定性的目的。

技术领域

本发明涉及真空压力传感器测量技术领域，特别涉及一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法。

背景技术

随着真空技术的发展，真空系统在许多领域都得到了应用，在航空、航天、微电子、冶金信息和生物等高新科技中发挥了巨大的作用，而且真空技术已在科研、生产领域渗到人们的日常生活中。

真空技术主要包括真空的获得和真空度的测量两个方面。真空的获得，即真空的产生和保持，它一般由真空泵等机械设备实现。而准确测量真空度、控制真空度对生产、生活、科学研究有着重要影响，对实验的成败和真空产品的质量都起到关键的作用。真空度的测量，主要由传感器及其相应部件组成的真空测量设备完成，真空压力传感器是测试设备中的关键元器件，决定着测量系统的精度和准确度。

但是，国内真空压力传感器产品的可靠性、稳定性及一致性等与发达国家存在较大差距，缺乏系统性的可靠性研究工作。高可靠性传感器的技术水平、传感器可靠性研究和试验工作相对落后于国外的进程，且高可靠性产品类别单一、品种少，量产能力也存在很大差距。所以，尽快掌握开发具有高可靠传感器技术和产品是具有实际意义的一项重要任务。

发明内容

本发明为克服现有技术不足，提供一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法，用以对传感器进行加速寿命试验，该装置可以实现加速应力和加速失效时间两种加速方法，从而达到对真空压力传感器的使用寿命等可靠性指标的预测，实现提高传感器可靠性、稳定性等的目的。

本发明的技术方案是：

根据本发明的一个方面，提供一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置包括真空泵组、真空舱、真空计、集气瓶、减压阀及调节阀；

所述真空舱分别为真空舱二、真空舱三、真空舱四和用于校准的真空舱一；

真空泵组分别与真空舱一和真空舱二连接，真空舱二和真空舱四之间布置有与二者连通的真空舱三，真空舱一、真空舱二、真空舱三和真空舱四串接在一起，真空舱一、真空舱二和真空舱三上分别安装有一个真空计；调节阀分别为调节阀一、调节阀二、调节阀三、调节阀四、调节阀五、调节阀六、调节阀七、调节阀八、调节阀九和调节阀十；

真空舱三与集气瓶连接且二者连接的管路上安装有减压阀、调节阀八和调节阀九；真空舱三和集气瓶经调节阀八与大气相同；真空舱一上设置有调节阀二；真空泵组与真空舱一之间、真空舱一与真空舱二之间、真空舱二与真空舱三之间、真空舱三与真空舱四之间分别设置有调节阀一、调节阀四、调节阀六和调节阀七；真空舱一与真空舱二之间设置有调节阀三和调节阀十，被测传感器与真空舱二之间设置有调节阀五；被测传感器和三个真空计的信号输出端分别与显示面板的信号输入端连接。

进一步地，所述真空计为电容式薄膜真空计。

进一步地，所述调节阀为金属调节阀。

根据本发明的另一个方面，提供一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置的校准方法；

包括以下步骤：

步骤一：关闭集气瓶前的调节阀九，并关闭管路中与大气相通的调节阀二和调节阀八，其余调节阀处于打开的状态；