[发明专利]一种超微小孔的气体流量的调试方法在审
| 申请号： | 201811598768.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109737896A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 许国庆;张琳琳 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/10 | 分类号： | G01B13/10;G01B13/22;G01F1/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 匀气盘 小孔 微小孔 量测 气体流量检测 调试 气体流速 成本高效 控制模块 气流流速 气体流量 输出模式 粗糙度 剖开 度量 报废 转换 检测 节约 记录 | ||
1.一种超微小孔的气体流量的调试方法，其特征在于，检测匀气盘上小孔气体流量的均匀性；
主要调试步骤如下：
(1)将气体流量检测治具与MKS控制器，探针，氮气瓶连接好；
(2)通过调节9个Pin孔来校准气体流量检测治具MKS控制器模块的直流电压值，Pin2和Pin6直流电压差满足接近0V；
(3)将氮气瓶接入到气体流量检测仪并调节至30psi的压强；
(4)调节MKS控制器设置不同模式；
(5)使用小孔流量校准刻度块，调整针型阀完成300sccm设定收集记录在300sccm条件下不同小孔的气体流量值。
2.根据权利要求1所述的一种超微小孔的气体流量的调试方法，其特征在于，第(2)步骤，校准MKS控制器不同Pin孔的直流电压，通过调零电位器使MKS控制器的Pin1和Pin8直流电压差接近0V。
3.根据权利要求1所述的一种超微小孔的气体流量的调试方法，其特征在于，第(3)步骤，完成MKS控制器的调零后，连接氮气到MKS控制器，并保持30psi压强。
4.根据权利要求1所述的一种超微小孔的气体流量的调试方法，其特征在于，第(4)步骤，通过调节MKS控制器的开关旋钮，完成MKS控制器的五种模式设定。
5.根据权利要求1所述的一种超微小孔的气体流量的调试方法，其特征在于，第(5)步骤，使用标准的小孔流量校准刻度块，通过调节针型阀，使Excel计算得出的的理论值和MKS控制器的流量设定值完全吻合。
6.根据权利要求1所述的一种超微小孔的气体流量的调试方法，其特征在于，第(6)步骤，在300sccm下使用记录收集实际匀气盘超微小孔的气体流量数据。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳富创精密设备有限公司，未经沈阳富创精密设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811598768.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
