[发明专利]一种超微小孔的气体流量的调试方法

说明书

本发明是针对匀气盘上超微小孔的气体流量检测仪调试说明，通过连接调试气体流量检测仪上的MKS控制模块的气体流速，不同Pin孔的电压值，输出模式等设置，来记录匀气盘上的超微小孔的气流流速。由于匀气盘上小孔直径较小不易量测，小孔长度和表面粗糙度量测成本过高(只能剖开量测，则此片匀气盘报废)，将小孔直径，长度，面粗糙度转换为小孔气体流速检测是一个节约成本高效的量测方法。

技术领域

本发明涉及匀气盘超微小孔校正技术领域，具体是一种超微小孔的气体流量的调试方法。

背景技术

匀气盘超微小孔的关键尺寸的质量，决定了气体流动的均匀性。然而在匀气盘生产加工后，现有的是扫描的方式判断超微小孔的均匀性，该方法存在诸多问题，如容易受干扰，出现漏检现象。总之，没有一种行之有效的技术进行校对匀气盘超微小孔的均匀性，无法保证产品的合格率。

发明内容

本发明目的是通过保证匀气盘超微小孔的关键尺寸的质量，以保证气体流动的均匀性。通过验证良好的孔径与孔流动均匀性，可以提高晶圆片的沉积速率均匀性。此外，为所有抽样孔的平均流量值提供一个良好的指标。

本发明的调试方案如下所示：

一种超微小孔的气体流量的调试方法，检测匀气盘上小孔气体流量的均匀性；

主要调试步骤如下：

(1)将气体流量检测治具与MKS控制器，探针，氮气瓶连接好；

(2)通过调节9个Pin孔来校准气体流量检测治具MKS控制器模块的直流电压值，Pin2和Pin6直流电压差满足接近0V；

(3)将氮气瓶接入到气体流量检测仪并调节至30psi的压强；

(4)调节MKS控制器设置不同模式；

(5)使用小孔流量校准刻度块，调整针型阀完成300sccm设定收集记录在300sccm条件下不同小孔的气体流量值。

第(2)步骤，校准MKS控制器不同Pin孔的直流电压，通过调零电位器使MKS控制器的Pin1和Pin8直流电压差接近0V。

第(3)步骤，完成MKS控制器的调零后，连接氮气到MKS控制器，并保持30psi压强。

第(4)步骤，通过调节MKS控制器的开关旋钮，完成MKS控制器的五种模式设定。

第(5)步骤，使用标准的小孔流量校准刻度块，通过调节针型阀，使Excel计算得出的的理论值和MKS控制器的流量设定值完全吻合。

第(6)步骤，在300sccm下使用记录收集实际匀气盘超微小孔的气体流量数据。

本发明的有益效果是：

1.本发明是一种新的检测方式，检测小孔的气体流速，将不容易检测超微小孔的直径(最小0.012inch)和小孔表面粗糙度转换为检测小孔流速。验证良好的孔径与孔流动均匀性，可以提高晶圆片的沉积速率均匀性。此外，为所有抽样孔的平均流量值提供一个良好的指标。

具体实施方式

下面对本发明进一步详细说明。

气体流量检测仪使用MKS流量控制器，品牌：美国MKS，产品型号：2179A，测量范围：10sccm～20slm(m3/h)探针、不同孔径标准校正块和相关的管道系统对流经单个孔的流量进行取样。通过在超微小孔上一个接一个地使用橡胶头探头对超微小孔进行取样来检测实际气体流速。确定一个合格小孔的基本思想是通过测量被测孔和预定基准孔之间的压差。一种超微小孔的气体流量的调试方法，检测匀气盘上小孔气体流量的均匀性；

主要调试步骤如下：