[发明专利]玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置

权利要求书

1.一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于包括：

制造步骤，使用处理装置对熔融玻璃进行处理，并将处理所得的所述熔融玻璃成形为玻璃板；

分析步骤，对所述玻璃板中所含的气泡中的气体成分的浓度进行分析；

判断步骤，使用所述气体成分的分析结果，判断是否停止所述制造步骤；及

执行步骤，基于所述判断步骤中的判断结果，使所述制造步骤停止；

将所述气体成分中CO₂、N₂、SO₂、及Ar中的2种以上成分的浓度产生变化用于停止所述制造步骤的条件；

所述判断步骤中，根据所述气体成分的浓度变化量，决定停止所述制造步骤的时期，且

在所述执行步骤中，基于所述判断步骤中决定的所述时期，停止所述制造步骤。

2.根据权利要求1所述的玻璃衬底的制造方法，其中将所述2种以上的成分浓度超过各自容许的浓度范围用于停止所述制造步骤的条件。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃衬底的制造方法，其中将特定期间设为1个区间，在每经过所述特定期间时，一面逐个偏移所述区间一面计算连续多个区间整体的所述气体成分的浓度平均值所得的移动平均值中所述浓度产生变化用于停止所述制造步骤的条件。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃衬底的制造方法，其中在所述分析步骤中，进而对所述气体成分的内压、及所述气泡距所述玻璃板表面的深度位置中的至少任一个进行分析，且

在所述判断步骤中，进而使用与所述内压及所述深度位置中的所述一个相关的分析结果来进行所述判断。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃衬底的制造方法，其中在所述分析步骤中，将尺寸超过1mm的所述气泡设为分析对象。

6.一种玻璃衬底制造装置，其特征在于具备：

制造设备，使用处理装置对熔融玻璃进行处理，并将处理所得的所述熔融玻璃成形为玻璃板；

分析装置，对所述玻璃板中所含的气泡中的气体成分的浓度进行分析；

判断装置，使用所述气体成分的分析结果，判断是否停止所述制造设备运行；及

执行装置，基于所述判断装置的判断结果，使所述制造设备停止运行；

将所述气体成分中CO₂、N₂、SO₂、及Ar中的2种以上成分的浓度产生变化用于所述制造设备运行停止的条件；

所述判断装置根据所述气体成分的浓度变化量，决定停止所述制造设备运行的时期；

所述执行装置基于所述判断步骤中决定的所述时期，停止所述制造设备运行。