[发明专利]玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置

说明书

本发明是以不使玻璃衬底的生产性降低的方式在适当的时期停止玻璃衬底的制造设备的运行。本发明涉及一种玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置。玻璃衬底的制造方法包括：制造步骤，使用处理装置对熔融玻璃进行处理，并将处理所得的所述熔融玻璃成形为玻璃板；分析步骤，对所述玻璃板中所包含的气泡中的气体成分的浓度进行分析；判断步骤，使用所述气体成分的分析结果，判断是否停止所述制造步骤；及执行步骤，基于所述判断步骤中的判断结果，停止所述制造步骤。在玻璃衬底的制造方法中，将所述气体成分中CO₂、N₂、SO₂、及Ar中2种以上成分的浓度产生变化用于停止所述制造步骤的条件。

技术领域

本发明涉及一种玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置。

背景技术

显示器用玻璃衬底通常是经过在利用玻璃原料生成熔融玻璃后，将熔融玻璃内含的微小气泡去除(澄清)，进而将熔融玻璃成形为玻璃衬底的制造步骤来制作。制造步骤使用将玻璃供给管、澄清槽等处理装置连接而成的制造炉(制造设备)来进行。

处理装置因与成形前的高温熔融玻璃相接，所以必须根据熔融玻璃的温度、所要求的玻璃衬底的品质等由适当的材料构成。构成处理装置的材料中通常使用铂、铂合金等铂族金属(专利文献1)。铂族金属的熔点高，对熔融玻璃的耐腐蚀性也优异。

另一方面，铂族金属具有在高温环境下容易氧化且容易挥发的性质。因此，如果使用铂族金属作为处理装置的材料，便会存在铂族金属的部分薄壁化，从而变形或破损的情况。如果处理装置变形或破损，则存在熔融玻璃从处理装置泄露致使周边的处理装置受损的顾虑。因此，期待在处理装置变形或破损之前停止制造炉运转。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-111533号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

然而，存在如果使玻璃衬底的制造炉停止，便无法制造玻璃衬底，因此玻璃衬底的生产性降低的问题。另一方面，熔融玻璃的处理装置通常被耐火砖等耐火物覆盖，而难以从外部确认处理装置的状态。因此，难以在处理装置变形或破损之前在适当的时点使制造炉停止。

因此，本发明的目的在于提供一种能够以不使玻璃衬底的生产性降低的方式，在适当的时期使玻璃衬底的制造设备运行停止的玻璃衬底的制造方法及玻璃衬底制造装置。

[解决问题的技术手段]

本发明的一形态是一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于包括：

制造步骤，使用处理装置对熔融玻璃进行处理，并将处理所得的所述熔融玻璃成形为玻璃板；

分析步骤，对所述玻璃板中所包含的气泡中的气体成分的浓度进行分析；

判断步骤，使用所述气体成分的分析结果来判断是否停止所述制造步骤；及

执行步骤，基于所述判断步骤中的判断结果，停止所述制造步骤；

将所述气体成分中CO₂、N₂、SO₂、及Ar中2种以上成分的浓度产生变化用于停止所述制造步骤的条件。

优选将所述2个以上的成分浓度超过各自被容许的浓度范围用于停止所述制造步骤的条件。

优选将特定期间设为1个区间，在每经过所述特定期间时，一面逐个偏移所述区间一面计算连续多个区间整体的所述气体成分的浓度平均值所得的移动平均值中所述浓度产生变化用于使所述制造步骤停止的条件。

优选在所述判断步骤中，根据所述气体成分的浓度变化量，决定停止所述制造步骤的时期，且