[发明专利]一种抛光用无纺布有效
| 申请号： | 201811598985.7 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109610092B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李刚;赵昆;雷林;郭志刚;王顺平 | 申请（专利权）人： | 四川金象赛瑞化工股份有限公司 |
| 主分类号： | D04H1/4382 | 分类号： | D04H1/4382;D04H1/4334;D04H1/435;D04H1/4326;B24D11/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 吕玲;钱成岑 |
| 地址： | 620031 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 无纺布 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光用无纺布，包括尼龙短纤维、涤纶短纤维和三聚氰胺短纤维，其特征在于：以质量百分含量计，尼龙短纤维10%－40%，涤纶短纤维5－40%，三聚氰胺短纤维20%－60%；总质量百分含量之和为100%；所述尼龙短纤维、涤纶短纤维和三聚氰胺短纤维中的纤维长度均为38-72mm；纤维细度小于15微米，制备得到的无纺布克重为250－500克/m2，用于细微抛光处理，可长期承受的温度为190℃-200℃，短期承受温度为350℃。
2.如权利要求1所述的抛光用无纺布，包括尼龙短纤维、涤纶短纤维和三聚氰胺短纤维，其特征在于：以质量百分含量计，尼龙短纤维20%，涤纶短纤维30%，三聚氰胺短纤维50%。
3.如权利要求1或权利要求2所述抛光用无纺布的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
1）按比例混合配置尼龙短纤维、涤纶短纤维和三聚氰胺短纤维；
2）梳理铺网得纤维网；
3）对步骤2)所得的纤维网进行针刺或水刺处理；
4）将经过步骤3）处理后的产品进行切边卷绕即得。
4.如权利要求1或权利要求2所述的抛光用无纺布，其特征在于该无纺布用于CMP工艺。
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