[发明专利]一种掩膜版用高精度二维运动机构

权利要求书

1.一种掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：包括

二维压电陶瓷电机组件(1)，用于实现在X轴和Z轴两个方向上进行运动；

支撑板(2)，设置于所述二维压电陶瓷电机组件(1)的Z轴伸缩杆(11)的底端；

掩膜版支架(3)，设置于所述支撑板(2)一端的上方，用于放置掩膜版(5)；

第二压片(6)，设置在所述掩膜版支架(3)上，用于将所述掩膜版(5)压紧在所述掩膜版支架(3)上。

2.根据权利要求1所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：还包括第一压片(4)，设置于所述支撑板(2)一端的上方，且位于所述支撑板(2)的延伸方向的两侧，用于将所述掩膜版支架(3)固定在所述支撑板(2)上。

3.根据权利要求2所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述第一压片(4)包括平板状安装部(41)和斜向下延伸且具有弹性的弯折部(42)。

4.根据权利要求1所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述二维压电陶瓷电机组件(1)包括X轴导轨(12)、设置于所述X轴导轨(12)两端的支撑腿(13)、二维压电陶瓷电机壳体(14)和从所述二维压电陶瓷电机壳体(14)内伸出的可伸缩的所述Z轴伸缩杆(11)。

5.根据权利要求1所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述支撑板(2)设置有掩膜版支架(3)的一端具有U形缺口(21)和U形凹台(22)，安装时，所述掩膜版支架(3)嵌入所述U形凹台(22)内被第一压片(4)压紧。

6.根据权利要求1所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述掩膜版支架(3)上表面设置有载物凸台(31)；所述载物凸台(31)中部开有第一通孔(311)。

7.根据权利要求1所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述第二压片(6)呈L形；所述第二压片(6)与所述载物凸台(31)一端端部固定连接。

8.根据权利要求6所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述掩膜版支架(3)在其延伸方向上，远离所述二维压电陶瓷电机组件(1)的一端设置有握持部(32)；所述握持部(32)上开有第二通孔(321)。

9.根据权利要求1所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述二维压电陶瓷电机组件(1)外周设置有屏蔽罩。

10.根据权利要求2所述的掩膜版用高精度二维运动机构，其特征在于：所述掩膜版支架(3)、第一压片(4)和第二压片(6)由钽制成；所述支撑板(2)由不锈钢或钽制成。