[发明专利]一种TFT模型参数的提取方法

权利要求书

1.一种TFT模型参数的提取方法，其特征在于，包括：

1）接收并处理测量数据，生成提取电路；

2）选择TFT模型种类，将输入的电流数据划分为多个电流区域，并得到各电流区域的电流区域模型方程；

3）预定义所述测量数据和所述TFT模型的误差计算方案；

4）基于所述电流区域模型方程和电流数据分布计算模型参数的初始值；

5）进行模型的参数优化，计算误差数据和模型结果之间的关系；

6）进行错误检查，

步骤2）所述的输入的电流数据划分为多个电流区域，是根据输入的电流数据和器件电流特性，将输入电流数据划分为多个电流区域，电流区域包括：泄漏电流、亚阈区。

2.根据权利要求1所述的TFT模型参数的提取方法，其特征在于，步骤1）所述的生成提取电路，是根据TFT的器件尺寸参数、工艺参数、介电常数及数据量测温度，自动生成提取工具可以读取并操作的提取电路。

3.根据权利要求1所述的TFT模型参数的提取方法，其特征在于，步骤3）所述误差计算方案，包括，线性均方根计算，线性平均误差，线性最大误差，对数均方根计算，对数平均误差，对数最大误差。

4.根据权利要求1所述的TFT模型参数的提取方法，其特征在于，所述步骤3）进一步包括：根据各电流区域的电流分布和当前趋势，计算各区域电流所涉及的初始模型参数。

5.根据权利要求1所述的TFT模型参数的提取方法，其特征在于，所述步骤6）进一步包括：

重新计算电流及电容并与原始数据进行误差计算；

并对模型参数优化前后的误差进行比较。

6.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令，其特征在于，所述计算机指令运行时执行权利要求1至5任一项所述的TFT模型参数的提取方法的步骤。

7.一种终端设备，其特征在于，包括存储器和处理器，所述存储器上储存有在所述处理器上运行的计算机指令，所述处理器运行所述计算机指令时执行权利要求1至5任一项所述的TFT模型参数的提取方法的步骤。