[发明专利]一种电子级盐酸生产方法有效

专利信息
申请号: 201811600704.7 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109650340B 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 坎勇;朱永刚;顾玲燕;丁磊;周锡军;浦陈龙 申请(专利权)人: 江阴江化微电子材料股份有限公司
主分类号: C01B7/07 分类号: C01B7/07
代理公司: 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 孙霞
地址: 214400 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 电子 盐酸 生产 方法
【权利要求书】:

1.一种电子级盐酸生产方法,其特征在于,包括以下步骤:

a)、选用浓度至少31%的工业级盐酸为原料;

b)、上述盐酸原料进入再沸器,再沸器为高硼硅玻璃材质,内置纯钽材质内胆加热器,通过再沸器加热盐酸原料,使部分液相气化形成盐酸蒸汽;

c)、再沸器气化形成的盐酸蒸汽进入精馏塔内,精馏塔的塔釜采用高硼硅玻璃材质,塔体通体采用PVDF材质,在精馏塔内形成盐酸恒沸物之前,反复精馏得到液相重组分以及富HCl的气相轻组分,气相轻组分从精馏塔的塔体顶部溢出,液相重组分从精馏塔的塔釜底部排出;

d)、从精馏塔的塔体顶部溢出的气相轻组分经通体PVDF材质的管道进入吸收塔中,吸收塔通体采用PVDF材质,超纯水进水管道的超纯水经吸收罐、循环泵从吸收塔的喷淋组进入吸收塔,超纯水吸收富HCl的气相轻组分,形成高纯盐酸溶液,从吸收塔底部流出,所述吸收罐、所述循环泵、以及与其连接的内流盐酸的管道整体或内衬为高纯氟塑料材质;

e)、从吸收塔流出来的高纯盐酸溶液依次经过吸收罐、循环泵回流到吸收塔内,反复吸收富HCl的气相轻组分,直至吸收罐内的高纯盐酸溶液浓度达37%以上,得到高纯的电子级盐酸成品。

2.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述步骤b)中盐酸原料先进入预热器预热后再进入再沸器内;所述步骤e)中吸收塔出来的高纯盐酸溶液经过冷凝器冷却后再进入所述吸收罐。

3.如权利要求2所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述冷凝器内供盐酸流动的管路为高纯PFA材质,除内供盐酸流动的管路之外的部分为不锈钢材质。

4.如权利要求2所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述精馏塔的精馏温度不超过100摄氏度,所述吸收罐的吸收温度不超过10摄氏度。

5.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,还包括步骤f):吸收塔的顶部盐酸蒸汽尾气进入尾气洗涤塔,进行洗涤处理。

6.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,还包括步骤g):渗透PVDF到环境中的HCl被环境抽风净化装置收集,进入尾气洗涤塔,进行洗涤处理。

7.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述步骤e)中,吸收罐设有用于检测盐酸浓度的浓度计,吸收罐内盐酸浓度达标之后还有过滤分装步骤。

8.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述吸收罐设有氮气保护系统,盐酸溶液在氮气保护中进、出吸收罐。

9.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述步骤e)中吸收罐至少为两个且并联;盐酸溶液通过切换阀门进入其中一个支路上的吸收罐以循环吸收HCl气体,待其浓度达标后切换进入另一支路上的吸收罐中继续循环吸收,浓度达标的吸收罐内的盐酸溶液则进行过滤分装。

10.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述精馏塔和所述吸收塔内设有高纯PFA材质填料;所述吸收罐为不锈钢壳体内衬PTFE材质的双层结构;所述循环泵为不锈钢壳体内衬PFA材质的双层结构, 与所述循环泵、所述吸收罐连接的内流盐酸的管道均通体为PVDF材质。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴江化微电子材料股份有限公司,未经江阴江化微电子材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811600704.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top