[发明专利]一种电子级盐酸生产方法有效
申请号: | 201811600704.7 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109650340B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 坎勇;朱永刚;顾玲燕;丁磊;周锡军;浦陈龙 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C01B7/07 | 分类号: | C01B7/07 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 孙霞 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子 盐酸 生产 方法 | ||
1.一种电子级盐酸生产方法,其特征在于,包括以下步骤:
a)、选用浓度至少31%的工业级盐酸为原料;
b)、上述盐酸原料进入再沸器,再沸器为高硼硅玻璃材质,内置纯钽材质内胆加热器,通过再沸器加热盐酸原料,使部分液相气化形成盐酸蒸汽;
c)、再沸器气化形成的盐酸蒸汽进入精馏塔内,精馏塔的塔釜采用高硼硅玻璃材质,塔体通体采用PVDF材质,在精馏塔内形成盐酸恒沸物之前,反复精馏得到液相重组分以及富HCl的气相轻组分,气相轻组分从精馏塔的塔体顶部溢出,液相重组分从精馏塔的塔釜底部排出;
d)、从精馏塔的塔体顶部溢出的气相轻组分经通体PVDF材质的管道进入吸收塔中,吸收塔通体采用PVDF材质,超纯水进水管道的超纯水经吸收罐、循环泵从吸收塔的喷淋组进入吸收塔,超纯水吸收富HCl的气相轻组分,形成高纯盐酸溶液,从吸收塔底部流出,所述吸收罐、所述循环泵、以及与其连接的内流盐酸的管道整体或内衬为高纯氟塑料材质;
e)、从吸收塔流出来的高纯盐酸溶液依次经过吸收罐、循环泵回流到吸收塔内,反复吸收富HCl的气相轻组分,直至吸收罐内的高纯盐酸溶液浓度达37%以上,得到高纯的电子级盐酸成品。
2.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述步骤b)中盐酸原料先进入预热器预热后再进入再沸器内;所述步骤e)中吸收塔出来的高纯盐酸溶液经过冷凝器冷却后再进入所述吸收罐。
3.如权利要求2所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述冷凝器内供盐酸流动的管路为高纯PFA材质,除内供盐酸流动的管路之外的部分为不锈钢材质。
4.如权利要求2所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述精馏塔的精馏温度不超过100摄氏度,所述吸收罐的吸收温度不超过10摄氏度。
5.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,还包括步骤f):吸收塔的顶部盐酸蒸汽尾气进入尾气洗涤塔,进行洗涤处理。
6.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,还包括步骤g):渗透PVDF到环境中的HCl被环境抽风净化装置收集,进入尾气洗涤塔,进行洗涤处理。
7.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述步骤e)中,吸收罐设有用于检测盐酸浓度的浓度计,吸收罐内盐酸浓度达标之后还有过滤分装步骤。
8.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述吸收罐设有氮气保护系统,盐酸溶液在氮气保护中进、出吸收罐。
9.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述步骤e)中吸收罐至少为两个且并联;盐酸溶液通过切换阀门进入其中一个支路上的吸收罐以循环吸收HCl气体,待其浓度达标后切换进入另一支路上的吸收罐中继续循环吸收,浓度达标的吸收罐内的盐酸溶液则进行过滤分装。
10.如权利要求1所述的电子级盐酸生产方法,其特征在于,所述精馏塔和所述吸收塔内设有高纯PFA材质填料;所述吸收罐为不锈钢壳体内衬PTFE材质的双层结构;所述循环泵为不锈钢壳体内衬PFA材质的双层结构, 与所述循环泵、所述吸收罐连接的内流盐酸的管道均通体为PVDF材质。
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