[发明专利]集成干泵测试台控制方法

权利要求书

1.集成干泵测试台控制方法，其特征在于包括以下步骤：

首先为两个真空室提供本底真空条件，当两个真空室的真空度达到要求后，关闭两个真空获得设备；获得本底真空后，开启两个真空室之间的某一管路电磁阀门A、以及第二平衡室与第一真空室之间的某一路管路电磁阀门B；进气后，第一真空室的真空度会随着进气与待测泵抽气而发生变化，通过控制电磁阀门A、电磁阀门B中至少一个阀门的开度使真空度保持不变；同时，对温度控制；

流量控制：第一平衡室、第二平衡室之间管道的各流量计将测得流量值传输到可编程序控制器PLC，PLC将流量值与设定值进行比较，通过控制相应管道的电磁阀开度来控制流量大小；

真空度控制：气体进入第一真空室，绝压变送器将真空度测量值反馈给PLC，PLC把此时真空度测量值与设定值进行比较，通过调节真空获得设备与第一真空室之间的阀实现定压；

温度控制：通过加热装置对气体进行加热，热电偶将采集的数据传送到PLC中，与设定数据比对，通过比例-积分-微分控制器PID实现温度控制；

待测泵检测：通过变频器控制变频电机改变转速，用于检测待测泵在不同转速下的抽气性能。

2.如权利要求1所述的集成干泵测试台控制方法，在真空室之前设置了四条不同直径的管道，供大小不同的流量通过且每条管道上都设置了开度可调节的阀门。

3.如权利要求1所述的集成干泵测试台控制方法，在第一平衡室、第二平衡室之间设置6路不同量程的流量计，根据设定流量值选择开通对应量程的流量计通道。

4.如权利要求1所述的集成干泵测试台控制方法，在第一真空室上安装4个不同量程的绝压变送器，PLC根据实际真空度对相应量程的绝压变送器实施开指令。

5.如权利要求1所述的集成干泵测试台控制方法，在流量计前后均设置了平衡室用于稳定气流，以免对流量计造成冲击。

6.如权利要求1中所述的集成干泵测试台控制方法，采用多只热电偶采集温度，经温度变送器处理后输送到PLC，PLC内部进行数据比对并根据相应的PID算法输出控制要求，增加铠装加热丝的温度或者开启水冷装置。

7.如权利要求1中所述的集成干泵测试台控制方法，在真空室出口与待测泵入口的管道上设置了加热保温装置。

8.如权利要求1中所述的集成干泵测试台控制方法，采用变频控制，实现电机转速从个位级到万位级转每分RPM范围内的调节，用于监测和调节电流、功率的实验条件。

9.如权利要求1中所述的集成干泵测试台控制方法，在真空室上设置安全阀门，当真空室内压力达到设定危险值时，PLC根据薄膜规反馈的数值对阀门实施开指令。

10.如权利要求1中所述的集成干泵测试台控制方法，用于对不同型号的待测泵进行监控。