[发明专利]POLY-270剥离清洗液及其制备方法在审
申请号: | 201811603208.7 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109407478A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 李晨阳 | 申请(专利权)人: | 李晨阳 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 杜丹盛 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗液 剥离 制备 有机溶剂组成 分立器件 功能单一 碱性试剂 有机溶剂 剥离液 儿茶酚 还原剂 有机碱 光阻 羟胺 清洁 | ||
1.POLY-270剥离清洗液的制备方法,其特征在于,所述POLY-270剥离清洗液的原料包括碱性试剂、有机溶剂、儿茶酚、羟胺和水,所述方法步骤如下:
将碱性试剂抽入反应釜中,再将有机溶剂抽入反应釜中,加入儿茶酚,搅拌均匀,加入羟胺,搅拌均匀,加入水稀释,过滤出料即可。
2.根据权利要求1所述的POLY-270剥离清洗液的制备方法,其特征在于,所述碱性试剂由单乙醇胺,异丙醇胺混合而成。
3.根据权利要求1所述的POLY-270剥离清洗液的制备方法,其特征在于,所述有机溶剂为二乙醇丁醚。
4.根据权利要求2所述的POLY-270剥离清洗液的制备方法,其特征在于,所述单乙醇胺的用量为26~28%,所述异丙醇胺的用量为21~23%。
5.根据权利要求3所述的POLY-270剥离清洗液的制备方法,其特征在于,所述二乙醇丁醚的用量为0.5%。
6.根据权利要求1所述的POLY-270剥离清洗液的制备方法,其特征在于,所述儿茶酚的用量为10%,所述羟胺的用量为20%。
7.POLY-270剥离清洗液,其特征在于,所述POLY-270剥离清洗液成分包括:碱性试剂、有机溶剂、儿茶酚、羟胺和水。
8.根据权利要求7所述的POLY-270剥离清洗液,其特征在于,所述碱性试剂为单乙醇胺和异丙醇胺,所述有机溶剂为二乙二醇丁醚。
9.根据权利要求8所述的POLY-270剥离清洗液,其特征在于,POLY-270剥离清洗液成分包括:26~28%的单乙醇胺、21~23%异丙醇胺、0.5%的二乙二醇丁醚、10%的儿茶酚、20%的羟胺和20~23%的水。
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