[发明专利]玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置在审
| 申请号： | 201811603603.5 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109870556A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;何森林;邓永松;潘良元;于翔;权永春;宋海涛 | 申请（专利权）人： | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/38 | 分类号： | G01N33/38 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 吴国栋;陈庆超 |
| 地址： | 223800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 吸盘 支撑平台 横梁 负压源 正压源 宏观检查装置 选择性地连接 连通 吸附玻璃基板 吸气 并排设置 气浮平台 吹气 划伤 空腔 向内 | ||
1.一种玻璃基板支撑平台，其特征在于，包括：框架(1)、并排设置在所述框架(1)上的多根横梁(2)、以及连接在所述横梁(2)上的多个吸盘(3)，所述横梁(2)具有与所述吸盘(3)连通的空腔，所述横梁(2)选择性地连接有正压源或负压源。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述横梁(2)的侧壁凸出形成有中空的凸台(21)，所述吸盘(3)包括口部(31)和颈部(32)，所述颈部(32)过盈配合地插入到所述凸台(21)中。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述口部(31)的内径大于所述颈部(32)的内径。
4.根据权利要求2所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述颈部(32)的外侧形成有凸起(321)，所述凸起(321)抵顶在所述凸台(21)的端面。
5.根据权利要求2所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述颈部(32)的内径与所述横梁(2)的内径之比为1:6-1:10。
6.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述框架(1)构造为矩形架，所述横梁(2)构造为T形梁，所述横梁(2)的两侧搭接在所述框架(1)上。
7.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述横梁(2)可拆卸地安装在所述框架(1)上。
8.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，多根所述横梁(2)等间隔设置，每根所述横梁(2)上的多个所述吸盘(3)等间隔设置。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述横梁(2)的两端均设置有气管接头(22)。
10.一种玻璃基板宏观检查装置，包括用于承载玻璃基板(4)的支撑平台，其特征在于，所述支撑平台为根据权利要求1-9中任一项所述的玻璃基板支撑平台。
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