[发明专利]玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置

说明书

本公开涉及一种玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置，其中，玻璃基板支撑平台包括：框架、并排设置在所述框架上的多根横梁、以及连接在所述横梁上的多个吸盘，所述横梁具有与所述吸盘连通的空腔，所述横梁选择性地连接有正压源或负压源。通过上述技术方案，与吸盘连通的横梁可以选择性地连接正压源和负压源。当连接正压源时，吸盘可以向外吹气，支撑平台可以作为气浮平台使用，可以避免玻璃基板的表面被划伤；当连接负压源时，吸盘可以向内吸气，以吸附玻璃基板，可以使玻璃基板稳定地置于平台上。即，本公开提供的玻璃基板支撑平台可以在两种模式之间切换，满足不同的应用场合。

技术领域

本公开涉及玻璃基板制造领域，具体地，涉及一种玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置。

背景技术

玻璃基板的生产过程中，经常需要放置在支撑平台上进行加工、清洗、检查等操作。

相关技术中，支撑平台通常形成为一个或多个平板面，或者为起支撑及传送作用的滚轮，玻璃基板直接放置在支撑面上。为了避免玻璃基板与支撑面接触时划伤，一些改进方案中，在支撑平台上设置气浮装置，通过不断吹气来支撑玻璃基板。但是采用气浮装置的平台具有稳定性较差的缺点，不适宜应用在一些对玻璃基板的位置稳定性要求较高的情况。

发明内容

本公开的目的是提供一种玻璃基板支撑平台，该支撑平台能够根据使用环境选择性地调整支撑方式。

本公开的另一个目的是提供一种玻璃基板宏观检查装置，该玻璃基板宏观检查装置包括本公开提供的玻璃基板支撑平台。

为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板支撑平台，包括：框架、并排设置在所述框架上的多根横梁、以及连接在所述横梁上的多个吸盘，所述横梁具有与所述吸盘连通的空腔，所述横梁选择性地连接有正压源或负压源。

可选地，所述横梁的侧壁凸出形成有中空的凸台，所述吸盘包括口部和颈部，所述颈部过盈配合地插入到所述凸台中。

可选地，所述口部的内径大于所述颈部的内径。

可选地，所述颈部的外侧形成有凸起，所述凸起抵顶在所述凸台的端面。

可选地，所述颈部的内径与所述横梁的内径之比为1:6-1:10。

可选地，所述框架构造为矩形架，所述横梁构造为T形梁，所述横梁的两侧搭接在所述框架上。

可选地，所述横梁可拆卸地安装在所述框架上。

可选地，多根所述横梁等间隔设置，每根所述横梁上的多个所述吸盘等间隔设置。

可选地，所述横梁的两端均设置有气管接头。

根据本公开的第二个方面，提供一种玻璃基板宏观检查装置，包括用于承载玻璃基板的支撑平台，所述支撑平台为根据以上所述的玻璃基板支撑装置。

通过上述技术方案，与吸盘连通的横梁可以选择性地连接正压源和负压源。当连接正压源时，吸盘可以向外吹气，支撑平台可以作为气浮平台使用，可以避免玻璃基板的表面被划伤；当连接负压源时，吸盘可以向内吸气，以吸附玻璃基板，可以使玻璃基板稳定地置于平台上。即，本公开提供的玻璃基板支撑平台可以在两种模式之间切换，满足不同的应用场合。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是根据本公开的一个实施方式的玻璃基板支撑平台的示意图；

图2是图1示出的玻璃基板支撑平台在支撑玻璃基板时的示意图；