[发明专利]芯片的晶圆级封装方法和封装体在审

专利信息
申请号: 201811604659.2 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN111370319A 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 霍炎 申请(专利权)人: 无锡华润安盛科技有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L21/78;H01L23/31
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 林祥
地址: 214028 *** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 芯片 晶圆级 封装 方法
【权利要求书】:

1.一种芯片的晶圆级封装方法,其特征在于,所述芯片的晶圆级封装方法包括以下步骤:

在晶圆的上表面开设切割槽;

在晶圆的上表面和切割槽中覆设第一保护层;

在第一保护层中形成与芯片电性连接的导电凸块;

研磨芯片的下表面,形成接触面;

在接触面上覆设第二保护层;

切割晶圆,获得多个包含有芯片的封装体。

2.如权利要求1所述的芯片的晶圆级封装方法,其特征在于,所述切割槽位于晶圆上的相邻两个芯片之间。

3.如权利要求1所述的芯片的晶圆级封装方法,其特征在于,所述切割晶圆是在所述切割槽的位置进行切割。

4.如权利要求1所述的芯片的晶圆级封装方法,其特征在于,所述在第一保护层中形成与芯片电性连接的导电凸块,包括:

在芯片的功能区位置的第一保护层的上表面开设容纳槽,所述容纳槽贯穿所述第一保护层;

在容纳槽中形成导电凸块,导电凸块电连接于芯片的功能区;

所述在芯片的功能区位置的第一保护层的上表面开设容纳槽,采用激光开槽;

所述在容纳槽中形成导电凸块,采用植球工艺和回流焊工艺。

5.如权利要求1所述的芯片的晶圆级封装方法,其特征在于,所述研磨芯片的下表面,使位于所述切割槽中的第一保护层露出并与所述芯片的下表面形成所述接触面。

6.如权利要求1所述的芯片的晶圆级封装方法,其特征在于,所述第一保护层和/或所述第二保护层为树脂材料;

所述第一保护层为透明材料。

7.如权利要求6所述的芯片的晶圆级封装方法,其特征在于,所述在晶圆的上表面和切割槽中覆设第一保护层,采用热压成型的方式。

8.一种封装体,其特征在于,所述封装体包括:

芯片;

第一保护层,包覆所述芯片的上表面和侧表面,其上设有容纳槽贯穿所述第一保护层,并且延伸至所述芯片的功能区;

第二保护层,覆设于所述芯片的下表面;

导电凸块,设于所述容纳槽,并与所述芯片的功能区电性连接。

9.如权利要求8所述的封装体,其特征在于,所述第一保护层包括紧密连接的第一部分和第二部分;所述第一部分覆设于所述芯片的上表面,所述第二部分贴合于所述芯片的侧表面;

所述第二部分的下表面与所述芯片的下表面相平齐,并且贴合于所述第二保护层的上表面。

10.如权利要求8所述的封装体,其特征在于,所述导电凸块远离所述芯片的一端伸出所述容纳槽。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润安盛科技有限公司,未经无锡华润安盛科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811604659.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top