[发明专利]一种电容式弯曲量检测装置、检测方法及镀膜系统

权利要求书

1.一种电容式弯曲量检测装置，其特征在于，包括：

金属载具(3)，用于承载被传送物体；

传输装置(2)，其在传输方向运送所述金属载具(3)；

至少一对电容极板(51)，其设置在传输装置(2)的传输路径上；任意一对所述电容极板(51)间形成传输通道；

所述金属载具(3)可在上述传输通道中穿过；

电容信号控制器(52)，其分别与所述金属载具(3)、所述电容极板(51)连接，对所述金属载具(3)、所述电容极板(51)充电，并检测所述金属载具(3)穿过电容极板(51)间时所述金属载具(3)分别与两电容极板间电容值的差值△C，然后根据差值△C判断和输出金属载具(3)的弯曲量。

2.根据权利要求1所述的电容式弯曲量检测装置，其特征在于，所述电容极板(51)为多对，其沿垂直于所述金属载具(3)的运动方向均匀布置；且所述金属载具(3)可同时穿过多对所述电容极板(51)间形成的传输通道。

3.根据权利要求2所述的电容式弯曲量检测装置，其特征在于，还包括ID读取器，其与所述电容信号控制器连接，用于读取所述载具ID信息。

4.根据权利要求1-3任一项所述的电容式弯曲量检测装置，其特征在于，所述电容信号控制器包括：

整流电路，分别与金属载具(3)和所述电容极板(51)连接，用于将所述金属载具(3)分别与两电容极板间电容信号转换为DC电压信号；

信号放大器，与所述整流电路连接，用于将所述DC电压信号放大；

信号模拟电路，与所述信号放大器连接，用于根据放大的DC电压信号判断弯曲量，并输出所述弯曲量；

震荡电路，与所述电容极板(51)连接，向所述电容极板(51)充电；

外部供电电路，分别与所述整流电路和震荡电路连接，向所述整流电路和震荡电路供电。

5.根据权利要求4所述的电容式弯曲量检测装置，其特征在于，还包括主控制器，其与所述电容信号控制器(52)连接，并接收所述电容信号控制器(52)发送的所述弯曲量和载具ID信息。

6.一种镀膜系统，其特征在于，包括如权利要求1-5中任一项所述的电容式弯曲量检测装置。

7.一种采用权利要求1-5中任一项所述的电容式弯曲量检测装置的检测方法，其特征在于，包括：

对所述电容极板(51)和金属载具(3)充电；

检测一对电容极板与所述金属载具(3)产生的电容动差△C，并根据电容动差△C确定载具的弯曲量△d。

8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，电容动差△C与弯曲量△d函数关系为：

△C≈2C₀|△d|/d

其中，d为一对电容极板间距离，C₀为位于电容极板中间的金属载具无弯曲时上、下两侧电容的标准值。

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，还包括所述电容信号控制器记录弯曲量△d数据并上传至主控制器，当弯曲量△d大于第一阈值时，所述电容信号控制器向主控制器报警。

10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，还包括，读取载具ID信息，将所述金属载具ID信息与所述弯曲量△d数据一并传输至所述主控制器。