[发明专利]一种电容式弯曲量检测装置、检测方法及镀膜系统

说明书

本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种电容式弯曲量检测装置、检测方法及镀膜系统。其中电容式弯曲量检测装置，包括，金属载具，用于承载被传送物体；传输装置，其在传输方向运送所述金属载具；至少一对电容极板，其设置在传输装置的传输路径上；任意一对所述电容极板间形成传输通道；所述金属载具可在上述传输通道中穿过；电容信号控制器，其分别与所述金属载具、所述电容极板连接，对所述金属载具、所述电容极板充电，并检测所述金属载具穿过电容极板间时所述金属载具分别与两电容极板间电容值的差值△C，然后根据差值△C判断和输出金属载具的弯曲量。

技术领域

本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种电容式弯曲量检测装置、检测方法及镀膜系统。

背景技术

CIGS太阳能电池薄膜，由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶太阳能电池薄膜，其可采用共蒸发系统进行制备。其具有光吸收能力强，发电稳定性好、转化效率高，白天发电时间长、发电量高、生产成本低以及能源回收周期短等优点。

现有的CIGS镀膜系统一般采用交替溅射的方法或者共蒸发法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。在镀膜系统中为了获取待镀膜件(玻璃)的位置，现有技术中会采用光电传感器进行检测。而现有的光电传感器组件通过石英棒传输光电信号，其存在以下缺陷：

1.石英棒在镀膜腔室内容易受杂质干扰，杂质附着在石英棒表面容易干扰对射信号，随着生产进行，石英棒末端逐渐被CIGS粉尘附着，透光率下降，造成信号不稳定甚至信号异常；

2.光电信号在镀膜环境的影响，需要定期清理发生装置；

3.石英结构容易受损，破碎后需要更换，产生大量备件。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中光电传感器组件的缺陷，从而提供一种电容式弯曲量检测装置、检测方法及镀膜系统。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

本发明提供了一种电容式弯曲量检测装置，包括：

金属载具，用于承载被传送物体；

传输装置，其在传输方向运送所述金属载具；

至少一对电容极板，其设置在传输装置的传输路径上；任意一对所述电容极板间形成传输通道；

所述金属载具可在上述传输通道中穿过；

电容信号控制器，其分别与所述金属载具、所述电容极板连接，对所述金属载具、所述电容极板充电，并检测所述金属载具穿过电容极板间时所述金属载具分别与两电容极板间电容值的差值△C，然后根据差值△C判断和输出金属载具的弯曲量。

进一步地，所述电容极板为多对，其沿垂直于所述金属载具的运动方向均匀布置；且所述金属载具可同时穿过多对所述电容极板间形成的传输通道。

上述电容式弯曲量检测装置中，还包括ID读取器，其与所述电容信号控制器连接，用于读取所述载具ID信息。

所述电容信号控制器包括：

整流电路，分别与金属载具和所述电容极板连接，用于将所述金属载具分别与两电容极板间电容信号转换为DC电压信号；

信号放大器，与所述整流电路连接，用于将所述DC电压信号放大；

信号模拟电路，与所述信号放大器连接，用于根据放大的DC电压信号判断弯曲量，并输出所述弯曲量；

震荡电路，与所述电容极板连接，向所述电容极板充电；

外部供电电路，分别与所述整流电路和震荡电路连接，向所述整流电路和震荡电路供电。