[发明专利]多晶硅取棒装置及方法

权利要求书

1.一种多晶硅取棒装置，其特征在于，包括：

洁净罩，所述洁净罩内具有密闭的容纳腔；

取料机构，所述取料机构设置于所述容纳腔的内部；

所述取料机构包括轨道、第一运载件以及机械臂，所述轨道设置为环形，所述第一运载件和所述轨道滑动连接，所述机械臂和所述第一运载件连接，所述第一运载件用于带动所述机械臂沿着所述轨道运动；

所述第一运载件设置为多个，多个所述第一运载件在所述轨道上间隔分布，所述机械臂设置为多个，所述机械臂和所述第一运载件一一对应；

转运机构，所述转运机构设置于所述容纳腔的内部；

所述转运机构包括相互连接的第二运载件和用于盛放多晶硅棒的容纳件，所述第二运载件用于带动所述容纳件运动；

控制器，所述控制器分别和所述第一运载件、所述机械臂以及所述第二运载件电连接，所述控制器用于分别控制所述第一运载件、所述机械臂以及所述第二运载件。

2.根据权利要求1所述的多晶硅取棒装置，其特征在于，所述洁净罩包括多个洁净罩瓣，多个所述洁净罩瓣呈链状依次铰接，两端的两个所述洁净罩瓣之间可拆卸连接，当两端的两个所述洁净罩瓣之间连接，多个所述洁净罩瓣之间形成闭合环状。

3.根据权利要求2所述的多晶硅取棒装置，其特征在于，所述洁净罩还包括第三运载件，所述第三运载件和所述洁净罩瓣连接，所述第三运载件用于带动所述洁净罩瓣运动。

4.根据权利要求3所述的多晶硅取棒装置，其特征在于，所述第三运载件包括传动连接的第三驱动件和第三滚轮，所述第三驱动件用于驱动所述第三滚轮转动，所述控制器和所述第三驱动件电连接。

5.根据权利要求1所述的多晶硅取棒装置，其特征在于，所述第一运载件包括传动连接的第一滚轮和第一驱动件，所述第一滚轮和所述轨道滚动连接，所述第一驱动件用于驱动所述第一滚轮沿着所述轨道运动，所述控制器和所述第一驱动件电连接。

6.根据权利要求1所述的多晶硅取棒装置，其特征在于，所述第二运载件包括传动连接的第二驱动件和第二滚轮，所述第二驱动件用于驱动所述第二滚轮转动，所述控制器和所述第二驱动件电连接。

7.根据权利要求1所述的多晶硅取棒装置，其特征在于，所述机械臂上具有夹取部，所述夹取部上具有感应件，所述感应件用于感应所述夹取部的夹持力，所述感应件和所述控制器电连接，所述控制器用于根据所述感应件的信号控制所述机械臂运动。

8.根据权利要求7所述的多晶硅取棒装置，其特征在于，所述感应件为压力传感器。

9.一种多晶硅取棒方法，其特征在于，应用于如权利要求1-8中任意一项所述的多晶硅取棒装置，包括如下步骤：

将环形的轨道设置于还原炉底盘外侧；

将洁净罩罩设在多晶硅棒上；

利用机械臂以合适的夹持力将多晶硅棒夹持至转运机构上；

打开洁净罩，利用转运机构将多晶硅棒运出。