[发明专利]多晶硅取棒装置及方法有效

专利信息
申请号: 201811605733.2 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN109399642B 公开(公告)日: 2019-10-29
发明(设计)人: 蔡延国;杨明财;王生红 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 赵志远
地址: 810000 青海省西*** 国省代码: 青海;63
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摘要:
搜索关键词: 运载件 机械臂 多晶硅 取棒装置 取料机构 控制器 容纳腔 转运机构 密闭 轨道 有效防止外界 洁净 多晶硅棒 工作效率 轨道设置 轨道运动 滑动连接 电连接 转运 污染
【说明书】:

发明提供了一种多晶硅取棒装置及方法,属于多晶硅准运领域。多晶硅取棒装置包括:洁净罩,洁净罩内具有密闭的容纳腔;取料机构,取料机构设置于容纳腔的内部;取料机构包括轨道、第一运载件以及机械臂,轨道设置为环形,第一运载件和轨道滑动连接,机械臂和第一运载件连接,第一运载件用于带动机械臂沿着轨道运动;转运机构,转运机构设置于容纳腔的内部;控制器,控制器分别和第一运载件、机械臂以及第二运载件电连接,控制器用于分别控制第一运载件、机械臂以及第二运载件。这种多晶硅取棒装置及方法可以在密闭的空间中进行,可以有效防止外界的物质对多晶硅棒造成污染,并且利用机械臂在轨道上进行转运,可以具有较高的工作效率。

技术领域

本发明涉及多晶硅准运领域,具体而言,涉及一种多晶硅取棒装置及方法。

背景技术

近年来,太阳能以其清洁无污染、分布广泛、储量丰富等优点受到了普遍重视,同时掀起了人类开发利用太阳能的热潮,光伏产业应运而生,作为光伏产业链最前端的多晶硅产业,在巨大的市场需求下已成为当今各行业发展中最炙手可热的焦点,在目前的光伏产业中,西门子法是生产多晶硅的主流工艺,主要工艺之一是化学还原气相沉积,它是在1100℃高温下由经过多级精馏的三氯氢硅气体与氢气反应还原成硅并不断沉积在初始硅芯上长大形成直径达到数百毫米的倒“U”型硅棒。

目前大多数企业采用机械臂单对取或人工取多晶硅棒,此过程工人劳动强度大,耗时较长,效率低,易对硅棒造成污染,而且由人工取多晶硅棒的过程中会造成硅棒断裂划伤操作人员。因此,迫切需要一种高效、便捷、安全性能有保障,且不造成硅棒污染的多晶硅取棒装置。

发明内容

本发明提供了一种多晶硅取棒装置,旨在解决现有技术中多晶硅取棒装置存在的上述问题;

本发明还提供了一种多晶硅取棒方法,旨在解决现有技术中多晶硅取棒方法存在的上述问题。

本发明是这样实现的:

一种多晶硅取棒装置,包括:

洁净罩,所述洁净罩内具有密闭的容纳腔;

取料机构,所述取料机构设置于所述容纳腔的内部;

所述取料机构包括轨道、第一运载件以及机械臂,所述轨道设置为环形,所述第一运载件和所述轨道滑动连接,所述机械臂和所述第一运载件连接,所述第一运载件用于带动所述机械臂沿着所述轨道运动;

转运机构,所述转运机构设置于所述容纳腔的内部;

所述转运机构包括相互连接的第二运载件和用于盛放多晶硅棒的容纳件,所述第二运载件用于带动所述容纳件运动;

控制器,所述控制器分别和所述第一运载件、所述机械臂以及所述第二运载件电连接,所述控制器用于分别控制所述第一运载件、所述机械臂以及所述第二运载件。

在本发明较佳的实施例中,所述洁净罩包括多个洁净罩瓣,多个所述洁净罩瓣呈链状依次铰接,两端的两个所述洁净罩瓣之间可拆卸连接,当两端的两个所述洁净罩瓣之间连接,多个所述洁净罩瓣之间形成闭合环状。

在本发明较佳的实施例中,所述洁净罩还包括第三运载件,所述第三运载件和所述洁净罩瓣连接,所述第三运载件用于带动所述洁净罩瓣运动。

在本发明较佳的实施例中,所述第三运载件包括传动连接的第三驱动件和第三滚轮,所述第三驱动件用于驱动所述第三滚轮转动,所述控制器和所述第三驱动件电连接。

在本发明较佳的实施例中,所述第一运载件设置为多个,多个所述第一运载件在所述轨道上间隔分布,所述机械臂设置为多个,所述机械臂和所述第一运载件一一对应。

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