[发明专利]电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构及测试方法

权利要求书

1.一种电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构的测试方法，所述的电子束扫描机台内置有扫描程序，其特征在于：所述电子束扫描机台在正式扫描前，在通过对晶圆的特定区域进行预扫描，寻找到最佳的扫描条件，以达到最好的扫描效果；所述的特定区域是指不同晶圆上具有类似图形结构的区域，所述的最好的扫描效果是使扫描得到的图片解析度最高，此时的机台扫描参数即是最佳扫描条件；

通过扫描程序确定孔径大小，在上述特定区域进行图像抓取，形成一标准图像数据，记录其解析度；

启动扫描程序，晶圆载入机台先运行预扫描程序，在预设区域得到解析度，然后跟标准图像数据的解析度进行比对，出现一定偏差时，机台自动调整电子束孔径大小，直到解析度与标准图像数据的解析度接近，实现动态调整解析度。

2.如权利要求1所述的电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构的测试方法，其特征在于：所述的电子束扫描机台，包含有由多个弧形挡片围成的电子束孔径动态调整结构，其电子束孔径的大小能在弧形挡片的活动范围内无级调整。

3.如权利要求1所述的电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构的测试方法，其特征在于：所述的标准图像数据是指通过对晶圆的特定区域进行扫描，得到解析度最高的照片作为标准图像数据，用于后续扫描程序获取的晶圆图像与之对比。

4.如权利要求1所述的电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构的测试方法，其特征在于：对晶圆进行预扫描得到的解析度与标准图像数据的解析度偏差超过10%时，机台自动调整电子束孔径大小，重新确定解析度，最终使获取的图片解析度与标准图像数据的解析度偏差在5%以内。