[发明专利]离子源在审
| 申请号： | 201811608893.2 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110504148A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 山元徹朗 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 崔迎宾;李雪春<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 长孔 离子束 离子源 碳构件 电流量 堆积物 长边 横跨 剥离 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源，具有形成有离子束引出用的长孔的碳构件，其特征在于，
在所述长孔的长边形成有切口。
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，
所述切口形成于所述长孔的各长边。
3.根据权利要求2所述的离子源，其特征在于，
形成于各长边的所述切口在所述长孔的长边方向上偏移。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的离子源，其特征在于，
在所述长孔的长边形成有多个所述切口，
形成于所述长孔的长边方向的所述切口间的尺寸比所述长孔的短边方向上的尺寸短。
5.根据权利要求2或3所述的离子源，其特征在于，
在所述长孔的各长边形成有多个所述切口，
具有在所述长孔的短边方向上对置的所述切口间，具有对置关系的两个切口间的合计尺寸比长孔的短边方向的尺寸短。
6.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，
等离子体生成用的气体含有氟。
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