[发明专利]抛光垫的修整方法、修整装置、抛光垫及双面抛光装置

权利要求书

1.一种双面抛光装置的抛光垫的修整方法，其特征在于，所述双面抛光装置包括：相对设置的上抛光板和下抛光板，设置于所述上抛光板上的上抛光垫，设置于所述下抛光板上的下抛光垫，与所述上抛光板和下抛光板具有共同的旋转轴线的旋转装置；所述修整方法包括：

调整步骤：控制所述上抛光板和所述下抛光板形变，使得所述上抛光板和所述下抛光板之间的间距，从靠近所述旋转轴线至远离所述旋转轴线的方向上呈递增趋势；

修整步骤：控制所述上抛光板、所述下抛光板和所述旋转装置旋转，以驱动安装于所述上抛光垫和所述下抛光垫之间的修整工具围绕自身的轴线自转且同时绕所述旋转轴线公转，以对所述上抛光垫和下抛光垫的表面进行修整，得到修整后的上抛光垫和下抛光垫，修整后的上抛光垫和下抛光垫之间的工作间隙，从靠近所述旋转轴线至远离所述旋转轴线的方向上呈递减趋势；所述调整步骤包括：

将所述上抛光板和下抛光板与气动液压系统的调整件连接，其中，所述上抛光板和下抛光板分别与多个所述调整件连接；

通过所述气动液压系统控制所述调整件形变，来控制所述上抛光板和所述下抛光板形变，使得所述上抛光板和所述下抛光板之间的间距，从靠近所述旋转轴线至远离所述旋转轴线的方向上呈递增趋势；

所述上抛光板和下抛光板均由多块子抛光板拼接而成，每一所述子抛光板连接至少一所述调整件，所述通过所述气动液压系统控制所述调整件形变，来控制所述上抛光板和所述下抛光板形变包括：

通过所述气动液压系统控制各所述调整件热膨胀或者热收缩，来调整各所述子抛光板的倾斜角度，从而控制所述上抛光板和所述下抛光板形变。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调整步骤包括：

在所述上抛光板的表面的至少两个位置处和/或所述下抛光板的表面的至少两个位置处设置距离传感器；

根据所述距离传感器感应的距离，控制所述上抛光板和所述下抛光板形变，使得所述上抛光板和所述下抛光板之间的间距，从靠近所述旋转轴线至远离所述旋转轴线的方向上呈递增趋势。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述修整步骤之后还包括：

恢复所述上抛光板和所述下抛光板的形变，使得所述上抛光板和所述下抛光板的表面平行。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

抛光步骤：拆除所述修整工具，并将用于承载待抛光工件的承载盘安装于所述上抛光垫和所述下抛光垫之间的工作间隙中；将待抛光工件放置于所述承载盘内，控制所述上抛光板、下抛光板和旋转装置旋转，以驱动所述承载盘围绕自身的轴线自转且同时绕所述旋转轴线公转，以对所述待抛光工件进行抛光。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，

所述调整步骤和所述修整步骤在所述双面抛光装置执行第一次抛光步骤之前执行；

和/或

所述调整步骤和修整步骤在所述双面抛光装置每执行N次抛光步骤之后执行，N大于1。

6.一种双面抛光装置的抛光垫的修整装置，其特征在于，所述双面抛光装置包括：相对设置的上抛光板和下抛光板，设置于所述上抛光板上的上抛光垫，设置于所述下抛光板上的下抛光垫，与所述上抛光板和下抛光板具有共同的旋转轴线的旋转装置；所述修整装置包括：

调整模块，用于控制所述上抛光板和所述下抛光板形变，使得所述上抛光板和所述下抛光板之间的间距，从靠近所述旋转轴线至远离所述旋转轴线的方向上呈递增趋势；

修整模块，用于控制所述上抛光板、所述下抛光板和所述旋转装置旋转，以驱动安装于所述上抛光垫和所述下抛光垫之间的修整工具围绕自身的轴线自转且同时绕所述旋转轴线公转，以对所述上抛光垫和下抛光垫的表面进行修整，得到修整后的上抛光垫和下抛光垫，修整后的上抛光垫和下抛光垫之间的工作间隙，从靠近所述旋转轴线至远离所述旋转轴线的方向上呈递减趋势；

所述调整模块，还用于将所述上抛光板和下抛光板与气动液压系统的调整件连接，其中，所述上抛光板和下抛光板分别与多个所述调整件连接；通过所述气动液压系统控制所述调整件形变，来控制所述上抛光板和所述下抛光板形变，使得所述上抛光板和所述下抛光板之间的间距，从靠近所述旋转轴线至远离所述旋转轴线的方向上呈递增趋势；所述上抛光板和下抛光板均由多块子抛光板拼接而成，每一所述子抛光板连接至少一所述调整件，所述通过所述气动液压系统控制所述调整件形变，来控制所述上抛光板和所述下抛光板形变包括：通过所述气动液压系统控制各所述调整件热膨胀或者热收缩，来调整各所述子抛光板的倾斜角度，从而控制所述上抛光板和所述下抛光板形变。