[发明专利]电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统及方法有效
| 申请号： | 201811609932.0 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109765310B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李聪;李艾瑾 | 申请（专利权）人： | 杭州克柔姆色谱科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20;G01N30/60;G01N30/64 |
| 代理公司： | 浙江杭知桥律师事务所 33256 | 代理人： | 王梨华;金娟娟 |
| 地址： | 310000 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 氯化 微量 杂质 检测 系统 方法 | ||
1.电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统，其特征在于：包括切换阀V1(1)、切换阀V2(2)、定量管(3)、第一载气气路(4)、第二载气气路(5)、管道、第一毛细管柱(8)、第二毛细管柱(9)、第一放空针阀(13)、第二放空针阀(10)和氦离子化检测器(11)；定量管(3)两端分别与切换阀V1(1)连通，第一载气气路(4)和第二载气气路(5)分别与切换阀V1(1)连通，第一放空针阀(13)与切换阀V1(1)连通；切换阀V1(1)与切换阀V2(2)连通，管道、第二放空针阀(10)和氦离子化检测器(11)分别与切换阀V2(2)连通；第一毛细管柱(8)和第二毛细管柱(9)之间还连接有连接器(7)；
切换阀V1(1)为十通吹扫气动切换阀，以顺时针顺序对十通吹扫气动切换阀(1)进行标号，以十通吹扫气动切换阀(1)与样品出口连接的接口为①号接口，样品出口与十通吹扫气动切换阀(1)的①号接口连通，样品进口十通吹扫气动切换阀(1)的②号接口连通，定量管(3)两端分别与十通吹扫气动切换阀(1)的③号接口和⑩号接口连通，第一载气气路(4)与十通吹扫气动切换阀(1)的④号接口连通，第二毛细管柱(9)与十通吹扫气动切换阀(1)的⑤号接口连通，切换阀V2(2)的①号接口与十通吹扫气动切换阀(1)的⑥号接口连通，第二载气气路(5)与十通吹扫气动切换阀(1)的⑦号接口连通，第一放空针阀(13)与十通吹扫气动切换阀(1)的⑧号接口连通，第一毛细管柱(8)与十通吹扫气动切换阀(1)的⑨号接口连通；
切换阀V2(2)为四通吹扫气动切换阀，以顺时针顺序对四通吹扫气动切换阀(2)进行标号，以四通吹扫气动切换阀(2)与切换阀V1(1)连接的接口为①号接口，氦离子化检测器(11)与四通吹扫气动切换阀(2)的②号接口连通，管道与四通吹扫气动切换阀(2)的③号接口连通，第二放空针阀(10)与四通吹扫气动切换阀(2)的④号接口连通；
管道为第三载气气路(6)或色谱柱(12)，第三载气气路(6)或色谱柱(12)与切换阀V2(2)的③号接口连通，色谱柱(12)为5A分子筛色谱柱或Hayesep Q色谱柱；
第一毛细管柱(8)为HT-1毛细管柱，第二毛细管柱(9)为HT-35毛细管柱。
2.根据权利要求1所述的电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统，其特征在于：切换阀V2(2)为四通吹扫气动切换阀，以顺时针顺序对四通吹扫气动切换阀(2)进行标号，以四通吹扫气动切换阀(2)与切换阀V1(1)连接的接口为①号接口，氦离子化检测器(11)与四通吹扫气动切换阀(2)的②号接口连通，管道与四通吹扫气动切换阀(2)的③号接口连通，第二放空针阀(10)与四通吹扫气动切换阀(2)的④号接口连通。
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