[发明专利]切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法在审

专利信息
申请号: 201811612205.X 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN109571783A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 姜镕 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D5/04
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 贾玉;李东玲
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 切割线 喷淋结构 工件切割 喷嘴结构 喷淋 线槽 线辊 喷嘴 研磨液 缠绕 承载工件 供给结构 切割结构 切割效率 清洗能力 进给 清洗 邻近 应用
【权利要求书】:

1.一种切割线的喷淋结构,其特征在于,应用于工件切割系统,所述工件切割系统包括:

切割结构,包括两个线辊和缠绕在所述线辊上的切割线,所述线辊包括线槽,所述切割线缠绕在所述线槽内;

工件供给结构,用于承载工件并控制所述工件向靠近所述切割线的方向进给;

所述喷淋结构包括:

第一喷嘴结构,所述第一喷嘴结构包括第一喷嘴,用于向所述线辊的线槽及所述切割线喷淋研磨液,以清洗所述线槽和所述切割线;

第二喷嘴结构,所述第二喷嘴结构包括第二喷嘴,用于向邻近工件的所述切割线喷淋研磨液。

2.根据权利要求1所述的切割线的喷淋结构,其特征在于,所述第一喷嘴结构的第一喷嘴呈喇叭状。

3.根据权利要求2所述的切割线的喷淋结构,其特征在于,所述喇叭状的第一喷嘴的开口端朝向所述线辊设置。

4.根据权利要求1所述的切割线的喷淋结构,其特征在于,所述第二喷嘴的开口端朝向所述工件设置,且喷淋方向与所述切割线形成有夹角。

5.一种工件切割系统,其特征在于,包括:

切割结构,包括两个线辊,所述线辊上设有线槽,所述线槽内缠绕有用于切割工件的切割线;

工件移动结构,用于承载工件并控制所述工件垂直向靠近所述切割线的方向进给;以及

如权利要求1-4任一项所述切割线的喷淋结构。

6.根据权利要求5所述的工件切割系统,其特征在于,所述喷淋结构为两组,两组所述喷淋结构分别设置在所述工件的两侧。

7.根据权利要求5所述的工件切割系统,其特征在于,所述切割线为铜线、电镀有镍的铜线或树脂金刚石线。

8.一种切割线的喷淋方法,其特征在于,应用于如权利要求1-4任一项所述的切割线的喷淋结构,该方法包括:

向所述线辊的线槽及缠绕在所述线槽内的切割线喷淋研磨液,以清洗所述线槽和所述切割线;

向邻近工件的所述切割线喷淋研磨液。

9.根据权利要求8所述的切割线的喷淋方法,其特征在于,将研磨液自第一喷嘴的开口端向外扩散喷淋至所述线槽和所述切割线上。

10.根据权利要求8所述的切割线的喷淋方法,其特征在于,所述研磨液中含有碳化硅和添加剂,所述添加剂为聚乙二醇、二甘醇和没食子酸丙酯中的一种或多种。

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