[发明专利]一种气体处理装置

说明书

本发明涉及半导体装备制造技术领域，尤其涉及一种气体处理装置，包括腔室，加热装置，气体管道，测温装置，冷却系统和点火装置，气体处理装置设置有内层和外层，气体处理装置的内层组成的封闭空间构成腔室，气体管道从气体处理装置外层的外部通入到腔室内，加热装置设置在气体管道上，冷却系统设置在气体处理装置内层与外层之间，气体处理装置上还设置有助燃气体通道，助燃气体管路与腔室连通，点火装置设置在腔室里面，将腔室的两侧侧壁设置成对称的膜片结构，该膜片结构能够发生形变即凸起或凹陷，本发明节能高效，且能够实现对被处理气体的分解物高效回收。

技术领域

本发明涉及半导体装备制造技术领域，尤其涉及一种气体处理装置。

背景技术

在半导体和太阳能电池加工工艺中会产生大量尾气，这些尾气大部分有毒，如直接排放会对环境造成严重污染，所以需要对这些气体进行处理。现在尾气处理大多有燃烧、热解、化学反应等方法。有些尾气只能用热解的方式来处理，将有毒的气体热解成无毒的物质。为了减少尾气的运输和存储成本，大部分尾气处理装置直接连接在工艺设备尾端，这就需要尾气的处理装置体积小、处理效率高、无毒物质收集方便等。

气体处理装置主要采用热解的方法，气体处理时就需要大量的热量，从而消耗大量能量。在气体处理过程中会产生固体的分解物，要及时将这些分解物收集后排出气体处理装置。为了收集分解物，气体处理装置的侧壁需要降温冷却，从而将高温的分解物吸附在侧壁上，同时还要保证分解物吸附在侧壁后还能轻松剥离进行收集。分解物在排出气体处理装置时整个装置不能停止工作，要保证气体处理装置的连续性，不能中断。

因此，亟需提供一种节能高效，且能够实现对被处理气体的分解物高效回收，并能够保证在收集分解物的过程中整个气体处理装置正常运转的气体处理装置。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种节能高效，且能够实现对被处理气体的分解物高效回收的气体处理装置。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

本发明提供一种气体处理装置，包括腔室，加热装置，气体管道和点火装置，气体管道包括入口段和反应段，入口段位于气体处理装置的外侧，反应段位于腔室内并与腔室连通，加热装置设置在气体管道的反应段上，被处理气体在反应段内受热分解；气体处理装置上还设置有助燃气体通道，助燃气体管路与腔室连通；点火装置点火端设置在腔室里面，并用于引燃真空腔内被处理气体受热分解后的产物。

进一步地，气体处理装置还包括由内层和外层构成的壳体，内层组成的封闭空间构成腔室，还设置有冷却系统，所述冷却系统设置在内层与外层之间。

进一步地，内层侧壁包括两个对称设置的膜片结构，该膜片结构能够在膜片驱动装置的带动下发生形变，且腔室的侧壁与气体处理装置的外层通过波纹管连接。

进一步地，膜片驱动装置包括两个对称设置的磁流体，两个磁流体分别与两个膜片结构固定连接。

进一步地，在腔室内还设置有清扫装置，清扫装置中心对称设置在腔室内，用于对腔室侧壁进行清扫，清扫装置上设置有金属刷，金属刷转动起来能够对膜片结构的表面起到清扫的作用，清扫装置与磁流体内部的旋转轴转动连接，通过转动旋转轴能够带动清扫装置上的金属刷转动，磁流体内有空腔结构，能够将吹扫用的气体通过空腔结构通入到清扫装置中，并且能够在金属刷转动的同时将吹扫用的气体持续通入到清扫装置中。

进一步地，气体处理装置还包括气体流量控制装置和助燃气体管路，气体流量控制装置设置在助燃气体管路上，助燃气体管路与腔室连通。

进一步地，气体处理装置还包括气体探测装置，气体探测装置的检测端位于真空腔内用于探测腔室内的气体含量。