[发明专利]晶圆分割机产品标签错误预防装置

说明书

晶圆分割机产品标签错误预防装置，包括铁氟龙不粘层压合板，所述不粘层压板置于晶圆的滑道内，该发明通过对设备报警逻辑的变更，使得不良异常发生时能够第一时间报警，通知相关担当进行异常处理，避免的产品标签标记错误的风险，使得产品品质稳定有了非常可靠的保障，同时，通过对设备硬件结构的研究改善，对产品标签错误发生的根源原因进行了改善，又再次减少了设备逻辑改造后的报警，在品质安全确保的基础上，完全未增加人力成本。

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别涉及晶圆分割机产品标签错误预防装置。

背景技术

在现有的晶圆分割机工作时，会经常导致标签脱落的情况发生，脱落的标签经常会粘贴到其他产品上。由于设备无相关的报警机制，常常会导致后工程识别错产品标签，从而导致产品混料异常发生，导致大批量的产品品质异常。

CN201410851915.3一种晶圆切割装置，包括晶圆承载平台、L形可伸缩支架、晶圆固定框架、滚轮和切割刀，所述切割刀固定在所述L形可伸缩支架的顶端，所述晶圆承载平台连接在所述L形可伸缩支架的中间位置，所述晶圆承载平台上覆盖有粘性膜，所述晶圆固定框架设置于所述晶圆承载平台上，用以固定待切割晶圆，所述滚轮安装于所述晶圆承载平台一侧，用以在使用所述切割刀切割待切割晶圆后对待切割晶圆实施压力，从而将待切割晶圆分割为若干晶粒。本发明集切割和分离与一体，减少成本，节省时间。

发明内容

本发明提供晶圆分割机产品标签错误预防装置，使得产品品质稳定有了非常可靠的保障，采用以下技术方案：包括铁氟龙不粘层压合板，所述不粘层压板置于产品标签及胶层的上方，起到一定的压合作用，可有效防止胶层翘起及破损，防止产品标签脱落.

优选的，还包括有产品标签，所述产品标签置于晶圆旁边露出的胶层上，在铁氟龙不粘层压板下方位置，分膜过程中可被铁氟龙压板很好的保护，可有效减少异常脱落。

优选的，还包括有条形码识别器，所述条形码识别器置于分割机的进料、出料位置，所述条形码识别器用于扫描产品标签，所述条形码识别器与服务器进行数据交互。

优选的，还包括报警装置，所述报警装置采用声光报警。

优选的，还包括有工控机，所述工控机与报警装置连接，所述工控机与晶圆分割机连接，用于控制晶圆分割机的启动、关闭。

优选的，所述工控机采用PLC，如西门子PLC。

优选的，所述工控机与服务器之间数据交互。

本发明的有益效果：该发明通过对设备报警逻辑的变更，使得不良异常发生时能够第一时间报警，通知相关担当进行异常处理，避免的产品标签标记错误的风险，使得产品品质稳定有了非常可靠的保障，同时，通过对设备硬件结构的研究改善，对产品标签错误发生的根源原因进行了改善，又再次减少了设备逻辑改造后的报警，在品质安全确保的基础上，完全未增加人力成本。

附图说明

图1为本专利申请的结构原理图；

图2为本专利申请关于识别报警逻辑图。

图中，1、晶圆；2、不粘层压板；3、胶层；4、底膜；5、产品标签。

具体实施方式

由图1所示可知，本专利包括有产品标签，所述产品标签置于晶圆旁边露出的胶层上，在不粘层压板下方位置，胶层底部为底膜，所述不粘层压板选用铁氟龙材料。

优选的，还包括有条形码识别器，所述条形码识别器置于分割机的进料、出料位置，所述条形码识别器用于扫描产品标签，所述条形码识别器与服务器进行数据交互，采用产品标签的识别与报警，用于记录进出设备的产品标签的信息收集与对比。