[发明专利]晶圆片盒的固定装置

权利要求书

1.一种晶圆片盒的固定装置，其特征在于，包括支撑板组件(100)、压板组件(200)和顶板组件(300)；

所述支撑板组件(100)用于对晶圆片盒的下端位置限定；

所述压板组件(200)的一端连接所述支撑板组件(100)，所述压板组件(200)用于对晶圆片盒的侧面位置限定；

所述压板组件(200)的另一端连接所述顶板组件(300)，所述顶板组件(300)能够挤压所述压板组件(200)，使所述压板组件(200)对晶圆片盒的上端位置限定；

所述支撑板组件(100)包括支撑板(101)；

所述压板组件(200)的一端连接在所述支撑板(101)上，所述支撑板(101)上设有用于对晶圆片盒的下端限位的第一限位孔(102)；

所述支撑板(101)的一侧设有第一限位凸台(103)，所述支撑板(101)的另一侧设有第二限位凸台(104)；

所述支撑板(101)上设有第一连接孔(105)，所述压板组件(200)的一端通过连接件(106)连接在所述第一连接孔(105)内；

所述压板组件(200)包括限位柱(201)和限位板(202)；

所述限位板(202)上设有第二限位孔(203)，所述限位柱(201)穿设在所述第二限位孔(203)内；

所述限位柱(201)的数量至少为四个，所述第一连接孔(105)、所述连接件(106)、所述第二限位孔(203)的数量均至少为四个，一个所述限位柱(201)与一个所述第一连接孔(105)、一个所述连接件(106)、一个所述第二限位孔(203)相对应；

每个所述限位柱(201)的一端通过一个所述连接件(106)连接在一个所述第一连接孔(105)内；每个所述限位柱(201)的另一端穿过一个所述第二限位孔(203)连接所述顶板组件(300)；

所述限位板(202)的下端面设有对晶圆片盒的上端进行限位的侧挡板(204)；

所述限位板(202)的侧面连接有提手(205)；

所述顶板组件(300)包括顶板(301)、旋转轴(302)和限位偏心轮(303)；

每个所述限位柱(201)的另一端均连接在所述顶板(301)上；所述顶板(301)上设有限位槽(304)，所述旋转轴(302)连接在所述顶板(301)上，所述限位偏心轮(303)连接在所述旋转轴(302)上，所述限位偏心轮(303)设置在所述限位槽(304)内，所述限位偏心轮(303)能够抵接在所述限位板(202)的上端面；

所述顶板(301)的侧面设有第二连接孔(305)，所述旋转轴(302)连接在所述第二连接孔(305)内，并且所述旋转轴(302)伸出所述顶板(301)的端面连接有旋钮(306)；

所述限位偏心轮(303)的外周面设有用于与所述限位板(202)相抵接的限位面(307)。

2.根据权利要求1所述的晶圆片盒的固定装置，其特征在于，所述晶圆片盒的固定装置是采用聚偏氟乙烯材料制作的。