[发明专利]晶圆片盒的固定装置

说明书

本发明提供一种晶圆片盒的固定装置，涉及晶圆清洗设备的技术领域。晶圆片盒的固定装置包括支撑板组件、压板组件和顶板组件；支撑板组件用于对晶圆片盒的下端位置限定；压板组件的一端连接支撑板组件，压板组件用于对晶圆片盒的侧面位置限定；压板组件的另一端连接顶板组件，顶板组件能够挤压压板组件，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定。解决了晶圆片盒的安装夹具的结构复杂，浸泡清洗晶圆时，晶圆固定不牢固，容易损坏的问题。本发明利用支撑板组件对晶圆片盒的下端位置限定，利用压板组件对晶圆片盒的侧面位置限定，通过顶板组件对压板组件的挤压，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定，从而确保晶圆片盒的连接位置牢固。

技术领域

本发明涉及晶圆清洗设备的技术领域，尤其是涉及一种晶圆片盒的固定装置。

背景技术

晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，对半导体工业的发展起着很重要的作用。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在硅晶片上可以加工制作成各种电路元件结构，而成为有特点电性功能的集成电路产品。

在制作晶圆的过程中，需要对晶圆进行清洗，清洗时，需要采用晶圆片盒对晶圆进行固定，然后将晶圆片盒连接在安装夹具上，现有的安装夹具大多采用金属的架体，以对晶圆片盒进行固定。

但是，由于安装夹具的部件多，连接结构比较复杂，随着高端晶圆的清洗对工艺的要求越来越高，晶圆片盒固定在安装夹具上，对晶圆进行浸泡清洗时，就会使晶圆的固定位置不牢固，严重时还会导致晶圆损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆片盒的固定装置，以解决现有技术中存在的，晶圆片盒的安装夹具的结构复杂，浸泡清洗晶圆时，晶圆固定不牢固，容易损坏的技术问题。

本发明提供的一种晶圆片盒的固定装置，包括支撑板组件、压板组件和顶板组件；

支撑板组件用于对晶圆片盒的下端位置限定；

压板组件的一端连接支撑板组件，压板组件用于对晶圆片盒的侧面位置限定；

压板组件的另一端连接顶板组件，顶板组件能够挤压压板组件，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定。

进一步的，支撑板组件包括支撑板；

压板组件的一端连接在支撑板上，支撑板上设有用于对晶圆片盒的下端限位的第一限位孔；

支撑板的一侧设有第一限位凸台，支撑板的另一侧设有第二限位凸台。

进一步的，支撑板上设有第一连接孔，压板组件的一端通过连接件连接在第一连接孔内。

进一步的，压板组件包括限位柱和限位板；

限位板上设有第二限位孔，限位柱穿设在第二限位孔内；

限位柱的数量至少为四个，第一连接孔、连接件、第二限位孔的数量均至少为四个，一个限位柱与一个第一连接孔、一个连接件、一个第二限位孔相对应；

每个限位柱的一端通过一个连接件连接在一个第一连接孔内；每个限位柱的另一端穿过一个第二限位孔连接顶板组件。

进一步的，限位板的下端面设有对晶圆片盒的上端进行限位的侧挡板。

进一步的，限位板的侧面连接有提手。

进一步的，顶板组件包括顶板、旋转轴和限位偏心轮；

每个限位柱的另一端均连接在顶板上；顶板上设有限位槽，旋转轴连接在顶板上，限位偏心轮连接在旋转轴上，限位偏心轮设置在限位槽内，限位偏心轮能够抵接在限位板的上端面。

进一步的，顶板的侧面设有第二连接孔，旋转轴连接在第二连接孔内，并且旋转轴伸出顶板的端面连接有旋钮。