[发明专利]固定底座及包括其的溅射靶材车床

权利要求书

1.一种固定底座(10)，其特征在于，包括：

底座本体(11)；以及

固定部(12)，其从所述底座本体(11)的前侧平行于所述底座本体(11)的顶侧向外延伸；

其中，所述底座本体(11)包括位于所述底座本体(11)的顶侧的第一进入孔(131)、位于所述底座本体(11)的前侧的第一排出孔(132)以及连通所述第一进入孔(131)和所述第一排出孔(132)的第一通道(13)；以及

所述底座本体(11)还包括位于所述底座本体(11)的顶侧的第二进入孔(141)、位于所述底座本体(11)的前侧的第二排出孔(142)以及连通所述第二进入孔(141)和所述第二排出孔(142)的第二通道(14)。

2.如权利要求1所述的固定底座(10)，其特征在于，所述固定底座(10)用于将酒精混配装置(20)安装到溅射靶材车床上，其中所述酒精混配装置(20)固定到所述固定底座(10)的固定部(12)，所述底座本体(10)固定到溅射靶材车床上。

3.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述固定部(12)设有至少一个螺纹孔(121)。

4.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一进入孔(131)和所述第二进入孔(141)处分别设有过滤网。

5.如权利要求4所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一进入孔(131)和所述第二进入孔(141)处分别设有用于固定所述过滤网的固定板(133，143)，所述固定板(133，143)具有与所述第一进入孔(131)和所述第二进入孔(141)连通的通孔(134，144)。

6.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述底座本体(11)设有至少一个固定凸耳(16)，所述固定凸耳(16)设有螺纹孔(161)。

7.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一通道(13)为L形，所述底座本体(11)设有与所述第一通道(13)的拐角处连通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。

8.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第二通道(14)为L形，所述底座本体(11)设有与所述第二通道(14)的拐角处连通的排放孔(17)以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。

9.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一进入孔(131)的直径大于所述第一通道(13)的直径，所述第一排出孔(132)的直径大于所述第一通道(13)的直径。

10.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第二进入孔(141)的直径大于所述第二通道(14)的直径，所述第二排出孔(142)的直径大于所述第二通道(14)的直径。

11.一种溅射靶材车床，其特征在于，包括：

多个如权利要求1到10中任一项所述的固定底座(10)；以及

多个酒精混配装置(20)；

其中，所述酒精混配装置(20)通过所述固定底座(10)安装到所述溅射靶材车床上，所述酒精混配装置(20)包括与所述底座本体(11)的第一排出孔(132)连通的酒精流入孔(21)、与所述底座本体(11)的第二排出孔(142)连通的气体流入孔(22)、与所述酒精流入孔(21)和气体流入孔(22)连通的腔室以及流出孔(23)，其中酒精与压缩气体分别通过所述酒精流入孔(21)、所述气体流入孔(22)流入所述腔室内，混合形成酒精喷雾并通过所述流出孔(23)喷出。

12.如权利要求11所述的溅射靶材车床，其特征在于，所述溅射靶材车床还包括分水块装置，所述分水块装置与储存酒精的酒精箱和储存压缩气体的气体箱相连接，所述分水块装置包括与所述底座本体(11)的第一进入孔(131)相连通以供给酒精的酒精导管以及与所述底座本体(11)的第二进入孔(141)相连通以供给压缩气体的气体导管。