[发明专利]固定底座及包括其的溅射靶材车床

说明书

本发明提供一种固定底座，包括：底座本体；以及固定部，其从所述底座本体的前侧平行于所述底座本体的顶侧向外延伸；其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第一进入孔、位于所述底座本体的前侧的第一排出孔以及连通所述第一进入孔和所述第一排出孔的第一通道；其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第二进入孔、位于所述底座本体的前侧的第二排出孔以及连通所述第二进入孔和所述第二排出孔的第二通道。本发明还提供一种包括所述固定底座的溅射靶材车床。

技术领域

本发明涉及半导体溅射靶材领域，具体涉及一种固定底座以及包括所述固定底座的溅射靶材车床。

背景技术

在溅射靶材的机械加工过程中，需要喷射雾化酒精对溅射靶材进行冷却。传统的溅射靶材车床上只安装一个酒精喷射装置，但是车床刀库有十个工位，每次换刀后都需要人工调节酒精喷射装置的喷射位置，无法实现自动化生产，操作费时又费力。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种固定底座，用于在每个工位上都安装一个酒精混配装置，事先可调整好位置，这样每次换刀后不需要人工调节，从而可实现自动化生产。

为此，本发明提供一种固定底座，包括：底座本体；以及固定部，其从所述底座本体的前侧平行于所述底座本体的顶侧向外延伸；

其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第一进入孔、位于所述底座本体的前侧的第一排出孔以及连通所述第一进入孔和所述第一排出孔的第一通道；以及

所述底座本体还包括位于所述底座本体的顶侧的第二进入孔、位于所述底座本体的前侧的第二排出孔以及连通所述第二进入孔和所述第二排出孔的第二通道。

可选地，所述固定底座用于将酒精混配装置安装到溅射靶材车床上，其中所述酒精混配装置固定到所述固定底座的固定部，所述底座本体固定到溅射靶材车床上。

可选地，所述固定部设有至少一个螺纹孔。

可选地，所述第一进入孔和所述第二进入孔处分别设有过滤网。

可选地，所述第一进入孔和所述第二进入孔处分别设有用于固定所述过滤网的固定板，所述固定板具有与所述第一进入孔和所述第二进入孔连通的通孔。

可选地，所述底座本体设有至少一个固定凸耳，所述固定凸耳设有螺纹孔。

可选地，所述第一通道为L形，所述底座本体设有与所述第一通道的拐角处连通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。

可选地，所述第二通道为L形，所述底座本体设有与所述第二通道的拐角处连通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。

可选地，所述第一进入孔的直径大于所述第一通道的直径，所述第一排出孔的直径大于所述第一通道的直径。

可选地，所述第二进入孔的直径大于所述第二通道的直径，所述第二排出孔的直径大于所述第二通道的直径。

本发明还提供一种溅射靶材车床，包括：多个所述固定底座；以及多个酒精混配装置；

其中，所述酒精混配装置通过所述固定底座安装到所述溅射靶材车床上，所述酒精混配装置包括与所述底座本体的第一排出孔连通的酒精流入孔、与所述底座本体的第二排出孔连通的气体流入孔、与所述酒精流入孔和气体流入孔连通的腔室以及流出孔，其中酒精与压缩气体分别通过所述酒精流入孔、所述气体流入孔流入所述腔室内，混合形成酒精喷雾并通过所述流出孔喷出。

可选地，所述溅射靶材车床还包括分水块装置，所述分水块装置与储存酒精的酒精箱和储存压缩气体的气体箱相连接，所述分水块装置包括与所述底座本体的第一进入孔相连通以供给酒精的酒精导管以及与所述底座本体的第二进入孔相连通以供给压缩气体的气体导管。