[发明专利]靶材的处理装置及处理方法在审
| 申请号： | 201811621514.3 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111378941A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;寿奉粮 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23G1/14;C23F1/32;C23G3/00;C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
1.一种靶材的处理装置，其特征在于，包括：
清洗架，所述清洗架内部设有通气管；
所述通气管侧壁上具有通孔。
2.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述通孔直径为0.5mm-1.5mm。
3.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述通气管侧壁外表面绑有扎带。
4.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于，还包括：上气装置，所述上气装置具有上气管，所述上气管连接所述通气管一端。
5.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于，还包括清洗槽，盛放所述清洗架，所述清洗槽底部设置有过滤网。
6.一种靶材的处理方法，其特征在于，包括：
提供靶材；
将所述靶材放置于清洗架内；
所述通气管内气体通过所述通孔对所述靶材表面进行处理。
7.如权利要求6所述的处理方法，其特征在于，将所述靶材放置于清洗架内之后，还包括：提供清洗槽，将所述清洗架盛放于所述清洗槽内。
8.如权利要求7所述的处理方法，其特征在于，所述清洗槽内部装有腐蚀液。
9.如权利要求8所述的处理方法，其特征在于，所述腐蚀液为质量分数为15％-20％的氢氧化钠溶液。
10.如权利要求7所述的处理方法，其特征在于，所述通气管内气体通过所述通孔对所述靶材表面进行处理之后，还包括：对所述清洗槽内的残留物进行过滤。
11.如权利要求6所述的处理方法，其特征在于，通气管内气体通过所述通孔向所述靶材表面进行处理之前，还包括：提供上气装置，通过所述上气装置向所述通气管内通入压缩气体。
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