[发明专利]一种激光光路精细调节的装置及方法

权利要求书

1.一种激光光路装置，其特征在于：包括激光器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、振镜、光路精细调节装置及工作平面；所述工作平面上设置第一感光材料；所述光路精细调节装置包括转接底座、上光阑、光阑连接柱、下光阑；

激光器发射一束激光光束，激光光束入射至扩束镜，经扩束镜至第一反射镜，经第一反射镜反射而后入射至第二反射镜，经第二反射镜反射而后反射光束至振镜；经振镜后入射至光路精细调节装置；激光光束依次经过光路精细调节装置的上光阑、光阑连接柱、下光阑后光束到达工作平面的第一感光材料；

所述光路精细调节装置的上光阑与转接底座连接，上光阑与下光阑通过光阑连接柱连接；

所述下光阑的朝向上光阑的表面涂覆第二感光材料。

2.一种适用于权利要求1所述的激光光路精细调节的方法，其特征在于：

包括步骤：

A1.打开激光器，取下扩束镜，粗调第一反射镜和第二反射镜，观察第一感光材料，使得光束可以通过光路精细调节装置的上光阑、下光阑孔径到达工作平面；

A2.在第一反射镜前安装扩束镜，调整扩束镜的位置，在扩束镜光出射口安装光阑，并将光阑孔径设置为最大孔径；

A3.缩小光路精细调节装置上光阑的孔径，缩小光路精细调节装置下光阑的孔径，使下光阑孔径小于上光阑孔径，且肉眼观测到通过上光阑的光束投射在下光阑上表面；

A4.光束显示在下光阑第二感光材料上，调节第二反射镜角度，使得下光阑上的光束与下光阑孔径成同心圆；

A5.缩小扩束镜出口的光阑孔径，使缩小后光束外径小于装置的下光阑的孔径；

A6.调节第一反射镜角度，观测工作平面第一感光材料，使得光束与下光阑成同心圆；

A7.重复A2至于A6，直到上光阑、下光阑和经过扩束镜扩束后的光束成同心圆。

3.一种应用于权利要求1或2所述的激光光路精细调节装置，其特征在于：包括转接底座、上光阑、光阑连接柱、下光阑，所述上光阑连接设置在转接底座下，上光阑与下光阑通过光阑连接柱连接；

所述下光阑的朝向上光阑的表面涂覆第二感光材料。

4.如权利要求3所述的激光光路精细调节装置，其特征在于：所述光阑连接柱对应上光阑、下光阑设置有光通道。

5.如权利要求4所述的激光光路精细调节装置，其特征在于：所述转接底座上设置有螺纹。

6.如权利要求5所述的激光光路精细调节装置，其特征在于：所述光阑连接柱侧壁设有开孔，开孔贯穿至光通道与下光阑的相交处。