[发明专利]一种激光光路精细调节的装置及方法

说明书

本发明涉及一种激光光路调节方法以及专门用于激光光路精细调节装置，包括转接底座、上光阑、光阑连接柱、下光阑，其中下光阑的上表面涂覆感光材质，通过光路精细调节装置，使得显示在下光阑涂覆感光材料上的光束与下光阑孔径成同心圆，从而可以快速进行光路精确调节，应用光路精细调节装置提高调试效率、激光聚焦光斑的均匀性和聚焦的垂直度。

技术领域

本发明涉及光学领域，尤其涉及一种激光光路精细调节的装置及方法。

背景技术

随着激光技术的飞速发展和广泛应用，激光已成为工业生产、科学探测和现代军事战争中极为重要的工具。由于激光具有极好的方向性，在激光微加工领域，通常通过全反射镜改变激光的方向提高空间利用率，直到最后聚焦于材料上进行加工。而激光精准的垂直作用于材料表面，对材料的加工和工艺参数的可重复性极其重要。但是，现有的光路调节方法是通过激光打点等操作进行比对，不仅耗时长，且精度低。

如何克服及简化现有激光光路调节方法的不足，使光路精准垂直作用于材料上，提高调试效率和激光聚焦光斑的均匀性和聚焦的垂直度是本发明亟待解决的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种激光光路精细调节的装置及方法。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种激光光路装置，包括激光器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、振镜、光路精细调节装置及工作平面；所述工作平面上设置第一感光材料；所述光路精细调节装置包括转接底座、上光阑、光阑连接柱、下光阑；

激光器发射一束激光光束，激光光束入射至扩束镜，经扩束镜至第一反射镜，经第一反射镜反射而后入射至第二反射镜，经第二反射镜反射而后反射光束至振镜；经振镜后入射至光路精细调节装置；激光光束依次经过光路精细调节装置的上光阑、光阑连接柱、下光阑后光束到达工作平面的第一感光材料；

所述光路精细调节装置的上光阑与转接底座连接，上光阑与下光阑通过光阑连接柱连接；

所述下光阑的朝向上光阑的表面涂覆第二感光材料。

本发明还提供一种激光光路精细调节的方法，

包括步骤：

A1.打开激光器，取下扩束镜，粗调第一反射镜和第二反射镜，观察第一感光材料，使得光束可以通过光路精细调节装置的上光阑、下光阑孔径到达工作平面；

A2.在第一反射镜前安装扩束镜，调整扩束镜的位置，在扩束镜光出射口安装光阑，并将光阑孔径设置为最大孔径；

A3.缩小光路精细调节装置上光阑的孔径，缩小光路精细调节装置下光阑的孔径，使下光阑孔径小于上光阑孔径，且肉眼观测到通过上光阑的光束投射在下光阑上表面；

A4.光束显示在下光阑第二感光材料上，调节第二反射镜角度，使得下光阑上的光束与下光阑孔径成同心圆；

A5.缩小扩束镜出口的光阑孔径，使缩小后光束外径小于装置的下光阑的孔径；

A6.调节第一反射镜角度，观测工作平面第一感光材料，使得光束与下光阑成同心圆；

A7.重复A2至于A6，直到上光阑、下光阑和经过扩束镜扩束后的光束成同心圆。

本发明还提供一种激光光路精细调节装置，包括转接底座、上光阑、光阑连接柱、下光阑，所述上光阑连接设置在转接底座下，上光阑与下光阑通过光阑连接柱连接；

所述下光阑的朝向上光阑的表面涂覆第二感光材料。

进一步的，所述光阑连接柱对应上光阑、下光阑设置有光通道。

进一步的，所述转接底座上设置有螺纹。