[发明专利]一种晶圆覆膜装置

权利要求书

1.一种晶圆覆膜装置，包括底箱，底箱侧壁上设置有送料孔，底箱上设置有用于放置晶圆的放置槽，放置槽外与其同心设置有环形的切割孔，底箱一侧铰接有盖体，其特征在于：还包括包边机构，所述盖体上竖直滑动设置有圆筒形的切刀，切刀能够驱动包边机构，切刀与盖体之间设置有切割弹簧，盖体内侧设置有圆柱形的压柱；所述包边机构包括设置在所述放置槽槽底的吸气孔，吸气孔连通有吸气通道，吸气通道设置在所述底箱内，吸气通道连通有吸气机构；所述吸气机构包括设置在底箱内的负压腔，负压腔与所述吸气通道连通，负压腔内滑动设置有活塞，底箱底部设置有可与切刀相抵的底板，底板与底箱之间连接有负压弹簧，底板两端延伸至切割孔下方，底板与所述活塞连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述负压腔连通有圆台状的出气连接管，出气连接管的小径端与负压腔连通，出气连接管的大径端连通有出气管，出气连接管内滑动设置有用于密封出气连接管的密封板，密封板与出气连接管的小径端之间连接有弹力绳；吸气通道与负压腔之间连通有进气连接管，进气连接管的结构与出气连接管的结构相同，进气连接管的大径端和小径端分别与负压腔和吸气通道连通。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述压柱外滑动套设有包边筒，包边筒与所述压柱之间连接有复位弹簧，所述切刀内侧设置有用于驱动包边筒移动的推板。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述包边筒的底面与侧面之间导有圆角。